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System No. U0002-2309201911361400
Title (in Chinese) 應用光子噴流實現脈衝雷射微米鑽孔
Title (in English) To achieve pulsed laser micro-drilling application of photonic jet
Other Title
Institution 淡江大學
Department (in Chinese) 機械與機電工程學系碩士班
Department (in English) Department of Mechanical and Electro-Mechanical Engineering
Other Division
Other Division Name
Other Department/Institution
Academic Year 107
Semester 2
PublicationYear 108
Author's name (in Chinese) 魏皓得
Author's name(in English) Hao-De Wei
Student ID 606350212
Degree 碩士
Language Traditional Chinese
Other Language
Date of Oral Defense 2019-06-27
Pagination 89page
Committee Member advisor - Guan-Chen Chen
co-advisor - Cheng-Yang Liu
co-chair - 劉昭華
co-chair - 李泉
Keyword (inChinese) 光子噴流彎曲
繞射極限
Keyword (in English) curved photonic jet
diffraction limit
Other Keywords
Subject
Abstract (in Chinese)
本論文主要研究光子噴流彎曲現象、光學特性與量測,為了使光子噴流彎曲,使用染色光纖來改變雷射的入光量,分別採用160 μm、20 μm微米球,然後再使用三種波長的雷射光(405 nm、532 nm、671 nm)對微米球進行照射,此時會在微米球表面外產生光子噴流,隨著染色光纖位移影響光子噴流彎曲。本論文的主要內容為模擬計算與實驗驗證,在模擬計算中,使用了時域有限差分法,來模擬不同直徑的微米球,在不同入射光波的照射下產生光子噴流,的能量變化與彎曲程度。在實驗驗證方面,本論文架設一套完整的光學量測系統,來測量微米彎型噴流的光學特性,並使用光學量測程式對量測影像進行半高全寬和聚焦能量強度的分析。透過模擬與實驗的互相驗證比較,本論文發現遮擋雷射光進入微米球,可以改變光子噴流特性,並且遮擋量的不同會使光子噴流也會隨之改變。
Abstract (in English)
In this letter, the study demonstrated a curved photonic jet. In order to make the photonic jet bend, the dyed fiber is used to change the amount of light entering.The 160 μm and 20 μm microsphere are irradiated by laser light sources with different wavelenghts(405 nm,532 nm,671 nm).Then, the photonic jets can be generated on the microsphere surface, and curve along with the dyed fiber. The finite difference time domain method (FDTD) is used for simulation. The characteristics of curved photonic jets are simulated by FDTD with different microspheres and incident wavelengths. The optical properties of curved photonic jet are measured by optical measurement system. The intensity and full width at half maximum of measured images are analyzed by computer programs. Comparing simulation with experiment results, the properties of curved photonic jet can be change by dyed fiber.
Other Abstract
Table of Content (with Page Number)
目錄
第1章 前言	1
1.1 研究緣起	1
1.2 文獻回顧	4
1.3 研究目的與架構	9
第2章 理論分析	11
2.1 米氏散射理論	11
2.2 光子噴流特徵	12
2.3 數值方法	13
第3章 光子噴流模擬	19
3.1 模型建立	19
3.2 微米球尺寸及光纖遮擋對光子噴流影響	21
3.2.1 20 μm微米圓球模擬結果	21
3.2.2 160 μm微米圓球模擬結果	23
3.2.3 20 μm微米圓球模擬結果	25
3.2.4 160 μm微米圓球模擬結果	27
3.2.5 20 μm微米圓球模擬結果	29
3.2.6 160 μm微米圓球模擬結果	31
3.2.7 不同波長不同遮擋距離對光子噴流半高全寬關係	33
3.2.8 不同波長不同遮擋距離對光子噴流強度影響關係	35
3.2.9 不同波長不同遮擋距離對光子噴流角度變化關係	37
3.2.10 不同入射波長對20 µm光子噴流強度關係	39
3.2.11 不同入射波長對160 µm光子噴流強度關係	41
3.2.12 不同光纖位移量對20 µm光子噴流強度關係	44
3.2.13 不同光纖位移量對160 µm光子噴流強度關係	47
第4章 光子彎型噴流系統介紹	49
4.1 量測系統	49
4.2 光學顯微鏡	51
4.3 電荷耦合元件	53
4.4 物鏡	54
4.5 光源	55
4.6 三軸電控平台	57
第5章 光子噴流觀察結果	58
5.1.1 20 μm微米球實驗結果	58
5.1.2 160 μm微米圓球實驗結果	60
5.1.3 20 μm微米球實驗結果	62
5.1.4 160 μm微米球實驗結果	64
5.1.5 20 μm微米球實驗結果	66
5.1.6 160 μm微米球實驗結果	68
5.2 光子噴流半高全寬數據分析	70
5.2.1 單位正規化	70
5.2.2 不同波長不同遮擋距離對光子噴流半高全寬關係	71
5.2.3 不同波長不同遮擋距離對光子噴流強度影響關係	73
5.2.4 不同波長不同遮擋距離對光子噴流角度變化關係	75
5.2.5 不同入射波長對20 µm光子噴流強度關係	77
5.2.6 不同入射波長對160 µm光子噴流強度關係	79
5.2.7 不同光纖位移量對20 µm光子噴流強度關係	81
5.2.1 不同光纖位移量對160 µm光子噴流強度關係	83
第6章 結論	85
6.1 結論	85

圖目錄
圖1 1文獻使用的量測架構[25]	5
圖 1 2三種入射光照射在2μm玻璃微球的噴流情形[28]	6
圖 1 3彎型噴流模擬分析圖[29]	7
圖 1 4七種稜鏡角度模擬分析圖[30]	8
圖 1 5實驗架構圖	10
圖 2 1光子噴流結構示意圖	12
圖 2 2 FDTD單位網格電磁場配置	15
圖 2 3磁場與電場隨時間的變化圖	16
圖 3 1微米球拋物線型噴流的數值模型	19
圖 3 2 紅光671 nm照射下光纖移動不同距離遮擋模擬圖	22
圖 3 3 紅光671 nm照射下光纖移動不同距離遮擋模擬圖	24
圖 3 4 綠光532 nm照射下光纖移動不同距離遮擋模擬圖	26
圖 3 5 綠光532 nm照射下光纖移動不同距離遮擋模擬圖	28
圖 3 6 藍光405 nm照射下光纖移動不同距離遮擋模擬圖	30
圖 3 7 藍光405 nm照射下光纖移動不同距離遮擋模擬圖	32
圖 3 8 d=20 µm微米球不同波長不同遮擋距離對半高全寬影響關係	33
圖 3 9 d=160 µm微米球不同波長不同遮擋距離對半高全寬影響關係	34
圖 3 10 d = 20 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流強度影響關係	35
圖 3 11 d = 160 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流強度影響關係	36
圖 3 12 d = 20 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流角度變化關係	37
圖 3 13 d = 160 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流角度變化關係	38
圖 3 14 d = 20 µm微米球405 nm藍光對光子噴流強度關係	39
圖 3 15 d = 20 µm微米球532 nm綠光對光子噴流強度關係	40
圖 3 16 d=20 µm微米球671 nm紅光對光子噴流強度關係	40
圖 3 17光子噴流在X軸能量焦點	41
圖 3 18 d = 160 µm微米球405 nm藍光對光子噴流強度關係	42
圖 3 19 d = 160 µm微米球532 nm綠光對光子噴流強度關係	42
圖 3 20 d = 160 µm微米球671 nm紅光對光子噴流強度關係	43
圖 3 21 光子噴流聚焦位置示意圖	44
圖 3 22 d = 20 µm微米球在藍光405 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	45
圖 3 23 d = 20 µm微米球在綠光532 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	45
圖 3 24 d = 20 µm微米球在紅光671 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	46
圖 3 25 d = 160 µm微米球在藍光405 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	47
圖 3 26 d = 160 µm微米球在藍光532 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	48
圖 3 27 d = 160 µm微米球在紅光671 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	48
圖 4 1整體系統圖	49
圖 4 2光子噴流示意圖	50
圖 4 3光學顯微鏡	51
圖 4 4XYZ三軸電控平台	57
圖 5 1紅光671 nm照射下光纖移動不同距離遮擋實驗圖	59
圖 5 2 紅光671 nm照射下光纖移動不同距離遮擋實驗圖	61
圖 5 3綠光532 nm照射下光纖移動不同距離遮擋實驗圖	63
圖 5 4綠光532 nm照射下光纖移動不同距離遮擋實驗圖	65
圖 5 5藍光405 nm照射下光纖移動不同距離遮擋實驗圖	67
圖 5 6藍光405 nm照射下光纖移動不同距離遮擋模擬圖	69
圖 5 7 0.01mm 標準試片	70
圖 5 8 電腦程式分析0.01 mm 標準試片據	70
圖 5 9 d=20 µm微米球不同波長不同遮擋距離對半高全寬影響關係	71
圖 5 10 d=160 µm微米球不同波長不同遮擋距離對半高全寬影響關係	72
圖 5 11 d = 20 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流強度影響關係	73
圖 5 12 d = 160 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流強度影響關係	74
圖 5 13 d = 20 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流角度變化關係	75
圖 5 14 d = 160 µm微米球不同波長不同遮擋距離對噴流角度變化關係	76
圖 5 15 d = 20 µm微米球405 nm藍光對光子噴流強度關係	77
圖 5 16 d = 20 µm微米球532 nm綠光對光子噴流強度關係	78
圖 5 17 d = 20 µm微米球671 nm紅光對光子噴流強度關係	78
圖 5 18 d = 160 µm微米球405 nm藍光對光子噴流強度關係	79
圖 5 19 d = 160 µm微米球532 nm綠光對光子噴流強度關係	80
圖 5 20 d = 160 µm微米球671 nm紅光對光子噴流強度關係	80
圖 5 21 d d = 20 µm微米球在藍光405 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	81
圖 5 22 d = 20 µm微米球在532 nm綠光照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	82
圖 5 23 d = 20 µm微米球在671 nm紅光照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	82
圖 5 24 d = 160 µm微米球在藍光405 nm照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	83
圖 5 25 d = 160 µm微米球在532 nm綠光照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	84
圖 5 26 d = 160 µm微米球在671 nm紅光照射下,使用光纖位移對光子噴流強度關係	84

 
表目錄
表 2 1個符號及物理意義及單位	14
表 3 1數值模擬建模參數表	20
表 4 1光學顯微鏡各代號名稱	52
表 4 2CCD規格及優點	53
表 4 3物鏡規格表	54
表 4 4藍光雷射規格	55
表 4 5綠光雷射規格	56
表 4 6紅光雷射規格	56
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