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System No. U0002-0909201723345500
Title (in Chinese) 核殼微型光柵之奈米光子噴流研究
Title (in English) The study of photonic nanojets of the core-shell micro-grating
Other Title
Institution 淡江大學
Department (in Chinese) 機械與機電工程學系碩士班
Department (in English) Department of Mechanical and Electro-Mechanical Engineering
Other Division
Other Division Name
Other Department/Institution
Academic Year 105
Semester 2
PublicationYear 106
Author's name (in Chinese) 鄭宇倫
Author's name(in English) Yu-Lun Cheng
Student ID 604370121
Degree 碩士
Language Traditional Chinese
Other Language
Date of Oral Defense 2017-07-11
Pagination 178page
Committee Member advisor - Cheng-Yang Liu
co-chair - 趙全鋐
co-chair - 陳登豪
Keyword (inChinese) 光子奈米噴流
三角形微米光柵
半圓型微米光柵
方型微米光柵
繞射極限
Keyword (in English) Photonic nanojets
Saw-tooth micro-grating
Hemispherical micro-grating
Rectangle micro-grating
Diffraction limit
Other Keywords
Subject
Abstract (in Chinese)
本論文主要研究三種介電微米光柵(半圓型、方型、三角型),在鍍上三種金屬薄殼(金、銀、銅)後,經由三種雷射波長(405 nm、532 nm、671 nm)照射下,產生的光子奈米噴流現象。本研究使用半導體微影製程和翻模技術來製作介電微米光柵,其材料為聚二甲基矽氧烷,然後再使用真空濺鍍機將金屬薄殼濺鍍至光柵表面。本論文使用數值模擬和實驗量測來研究和證明不同形狀的微米光柵在不同金屬薄殼和不同尺寸的情況下,光子奈米噴流的變化。在數值模擬方面,本論文使用時域有限差分法來模擬不同形狀、尺寸、金屬薄殼,在不同波長雷射的照射下,產生的光場分佈及能量強度的情況。在實驗量測方面,本論文使用高靈敏度光學顯微系統來擷取實驗噴流影像,再以電腦程式分析實驗影像之數據,如噴流焦距、長度、寬度、能量強度等,並與數值模擬的參數做交互比較。本論文發現銀殼微米光柵產生的噴流長度比無殻光柵的噴流長度長,而銅殼光柵在405 nm波長及532 nm波長雷射光照射下有較強的能量強度,此研究結果可幫助未來能夠找到更加完美的光子奈米噴流來觀察奈米級的物體。
Abstract (in English)
The photonic nanojets generated by different shapes of dielectric micro-gratings (hemispherical, rectangle, and saw-tooth) in three metal shells (gold, silver, copper) are exposed under three incident wavelengths (405 nm, 532 nm, 671 nm). The dielectric micro-gratings composed of polydimethylsiloxane are made by semiconductor manufacturing technologies and molding techniques. A sputtering system is used to plate metal shells on the dielectric micro gratings. In order to observe the transformations of the photonic nanojets for different shapes of micro gratings, metal shells, and sizes, the theatrical calculations and experimentation are presented in this paper. In the theoretical calculations, the finite-difference time-domain method is used to simulate the intensity distribution of photonic nanojets at different laser wavelengths, shape, size and metals shells. In the measurements, a high sensitivity optical microscope system is used to record the images of the nanojets. A computer program is written to analyze the parameters of photonic nanojets, including focal length, length, width, and intensity. The results of the simulation and experiment are compared in this paper. It is observed that the intensity of copper shell micro-gratings is enhanced by exposing at incident wavelengths 405nm and 532nm. The research findings can be used to find a better way to observe nanoscale objects in the future.
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Table of Content (with Page Number)
目錄
第1章 前言	1
1.1 研究緣起	1
1.2 文獻回顧	4
1.3 研究目的與架構	9
第2章 理論分析	11
2.1 米氏散射理論	11
2.2 光子奈米噴流特徵	12
2.3 數值方法	13
第3章 光子奈米噴流模擬	18
3.1 模型建立	18
3.2 微米光柵尺寸及薄殼材料的改變對光子奈米噴流影響	21
3.2.1 三角型光柵模擬圖	21
3.2.2 方型光柵模擬圖	24
3.2.3 半圓型光柵模擬圖	27
3.2.4 不同核殼對不同型光柵對光子奈米噴流焦距關係	30
3.2.5 不同核殼對不同型光柵對光子奈米噴流的長度關係	36
3.2.6 不同核殼對不同型光柵對光子奈米噴流的寬度關係	42
3.2.7 不同核殼對不同型光柵對光子奈米噴流強度關係	48
第4章 光子奈米噴流量測系統介紹	54
4.1 量測系統	54
4.2 光學顯微鏡	56
4.3 電荷耦合元件	58
4.4 物鏡	59
4.5 光源	60
4.6 三軸電控平台	62
第5章 實驗製程	63
5.1 實驗目的	63
5.2 實驗製程	64
5.2.1 光罩設計	64
5.2.2 試片製程步驟	66
5.2.3 PDMS微米光柵成品	67
5.2.4 真空濺鍍	72
5.2.5 金屬核殼觀測	74
第6章 光子奈米噴流觀察	76
6.1 PDMS微米光柵	76
6.2 銅殼PDMS微米光柵	97
6.3 銀殼PDMS微米光柵	118
6.4 金殼PDMS微米光柵	139
6.5 光子奈米噴流之數據分析	146
6.5.1 單位正規化	146
6.5.2 無殻半圓型光柵之數據分析	147
6.5.3 無殻方型光柵之數據分析	149
6.5.4 無殻三角型光柵之數據分析	152
6.5.5 銅殻半圓型光柵之數據分析	154
6.5.6 銅殻方型光柵之數據分析	157
6.5.7 銅殻三角型光柵之數據分析	159
6.5.8 銀殻半圓型光柵之數據分析	162
6.5.9 銀殻方型光柵之數據分析	164
6.5.10 銀殻三角型光柵之數據分析	167
6.5.11 金殻光柵之數據分析	170
第7章 結論	173
參考文獻 175
圖目錄
圖1 1文獻使用的量測架構[25]	5
圖1 2 3μm及5μm微球的噴流現象[25]	5
圖 1 3三種入射光照射在2μm玻璃微球的噴流情形[28]	6
圖 1 4多種形狀微米結構的光子奈米噴流現象[33]	7
圖 1 5三種形狀噴流模擬圖及模擬建模圖[34]	8
圖 1 6實驗架構圖	10
圖 2 1光子奈米噴流結構示意圖	12
圖 2 2FDTD單位網格電磁場配置	15
圖 2 3磁場與電場隨時間的變化圖	15
圖 3 1核殼微米方型光柵的數值模型	18
圖 3 2核殼微米三角型光柵的數值模型	19
圖 3 3核殼微米半圓型光柵的數值模型	19
圖 3 4 d = 5 μm的三角型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	21
圖 3 5 d = 8 μm的三角型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	22
圖 3 6 d = 10 μm的三角型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	23
圖 3 7 d = 5 μm的方型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	24
圖 3 8 d = 8 μm的方型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	25
圖 3 9 d = 10 μm的方型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	26
圖 3 10 d =5 μm的半圓型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	27
圖 3 11 d = 8 μm的半圓型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	28
圖 3 12 d = 10 μm的半圓型光柵在不同光波長以及不同核殼下的模擬圖	29
圖 3 13 d = 5µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	30
圖 3 14 d = 8 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	31
圖 3 15 d = 10 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	31
圖 3 16 d = 5 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	32
圖 3 17 d = 8 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	33
圖 3 18 d = 10 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	33
圖 3 19 d = 5 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	34
圖 3 20 d = 8 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	35
圖 3 21 d = 10 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流焦距的關係圖	35
圖 3 22 d = 5 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	36
圖 3 23 d = 8 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	37
圖 3 24 d = 10 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	37
圖 3 25 d = 5 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	38
圖 3 26 d = 8 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	39
圖 3 27 d = 10 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	39
圖 3 28 d = 5 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	40
圖 3 29 d = 8 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	41
圖 3 30 d = 10 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流長度的關係圖	41
圖 3 31 d = 5 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	42
圖 3 32 d = 8 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	43
圖 3 33 d = 10 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	43
圖 3 34 d = 5 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	44
圖 3 35 d = 8 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	45
圖 3 36 d = 10 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	45
圖 3 37 d = 5 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	46
圖 3 38 d = 8 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	47
圖 3 39 d = 10 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流寬度的關係圖	47
圖 3 40 d = 5 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	48
圖 3 41 d = 8 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	49
圖 3 42 d = 10 µm 不同核殼半圓型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	49
圖 3 43 d = 5 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	50
圖 3 44 d = 8 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	51
圖 3 45 d = 10 µm 不同核殼方型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	51
圖 3 46 d = 5 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	52
圖 3 47 d = 8 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	53
圖 3 48 d = 10 µm 不同核殼三角型光柵對光子奈米噴流強度的關係圖	53
圖 4 1整體量測系統圖	54
圖 4 2光學量測示意圖	55
圖 4 3光學顯微鏡	56
圖 4 4XYZ三軸電控平台	62
圖 5 1實驗示意圖	63
圖 5 2光罩設計圖	65
圖 5 3光罩實體圖	65
圖 5 4製程步驟示意圖	66
圖 5 5光阻塗佈轉速時間對應圖	67
圖 5 6共軛焦顯微鏡	68
圖 5 7 不同尺寸微米三角型光柵(a) 5 µm (b) 8 µm (c) 10 µm	69
圖 5 8不同尺寸微米方型光柵(a) 5 µm (b) 8 µm (c) 10 µm	70
圖 5 9不同尺寸微米半圓型光柵(a) 5 µm (b) 8 µm (c) 10 µm	71
圖 5 10 真空濺鍍機	72
圖 5 11 真空鍍金機	73
圖 5 12 聚焦離子束與電子束顯微系統FIB	74
圖 5 13銀薄殼半圓型光柵剖面圖	75
圖 5 14銀薄殼半圓型光柵局部剖面圖	75
圖 6 1紅光671 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	76
圖 6 2綠光532 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	76
圖 6 3藍光405 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	77
圖 6 4紅光671 nm於不同尺寸PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	77
圖 6 5綠光532 nm於不同尺寸PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	77
圖 6 6藍光405 nm於不同尺寸PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	77
圖 6 7紅光671 nm於不同尺寸PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	78
圖 6 8綠光532 nm於不同尺寸PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	78
圖 6 9藍光405 nm於不同尺寸PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	78
圖 6 10紅光671 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	79
圖 6 11紅光671 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	80
圖 6 12綠光532 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	81
圖 6 13綠光532 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	82
圖 6 14藍光405 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	83
圖 6 15藍光405 nm於不同尺寸PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	84
圖 6 16紅光671 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	85
圖 6 17紅光671 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	86
圖 6 18綠光532 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	87
圖 6 19綠光532 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	88
圖 6 20藍光405 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	89
圖 6 21藍光405 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	90
圖 6 22紅光671 nm於不同尺寸PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	91
圖 6 23紅光671 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	92
圖 6 24綠光532 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	93
圖 6 25綠光532 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	94
圖 6 26藍光405nm於不同尺寸PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	95
圖 6 27藍光405nm於不同尺寸PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(暗場)	96
圖 6 28紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	97
圖 6 29綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	97
圖 6 30藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	97
圖 6 31紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	98
圖 6 32綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	98
圖 6 33藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	98
圖 6 34紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	99
圖 6 35綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	99
圖 6 36藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	99
圖 6 37紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	100
圖 6 38紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	101
圖 6 39綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	102
圖 6 40綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	103
圖 6 41藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	104
圖 6 42藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	105
圖 6 43紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	106
圖 6 44紅光671 nm於不同尺寸PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	107
圖 6 45綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	108
圖 6 46綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	109
圖 6 47藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	110
圖 6 48藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	111
圖 6 49紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	112
圖 6 50紅光671 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(暗場)	113
圖 6 51綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	114
圖 6 52綠光532 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(暗場)	115
圖 6 53藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	116
圖 6 54藍光405 nm於不同尺寸銅殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(暗場)	117
圖 6 55紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	118
圖 6 56綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	118
圖 6 57藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵最好噴流聚焦圖	118
圖 6 58紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	119
圖 6 59綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	119
圖 6 60藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵最好噴流聚焦圖	119
圖 6 61紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	120
圖 6 62綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	120
圖 6 63藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵最好噴流聚焦圖	120
圖 6 64紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	121
圖 6 65紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	122
圖 6 66綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	123
圖 6 67綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	124
圖 6 68藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(亮場)	125
圖 6 69藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS半圓型光柵噴流聚焦圖(暗場)	126
圖 6 70紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	127
圖 6 71紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	128
圖 6 72綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	129
圖 6 73綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	130
圖 6 74藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(亮場)	131
圖 6 75藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS方型光柵噴流聚焦圖(暗場)	132
圖 6 76紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	133
圖 6 77紅光671 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(暗場)	134
圖 6 78綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	135
圖 6 79綠光532 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(暗場)	136
圖 6 80藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(亮場)	137
圖 6 81藍光405 nm於不同尺寸銀殼PDMS三角型光柵噴流聚焦圖(暗場)	138
圖 6 82 5 μm金殼PDMS半圓型光柵於不同光波長最好噴流聚焦圖	139
圖 6 83 5 μm金殼PDMS方型光柵於不同光波長最好噴流聚焦圖	139
圖 6 84 5 μm金殼PDMS三角型光柵於不同光波長最好噴流聚焦圖	139
圖 6 85 5 μm 金殼PDMS半圓型光柵於不同波長噴流聚焦圖(亮場)	140
圖 6 86 5 μm 金殼PDMS半圓型光柵於不同波長噴流聚焦圖(暗場)	141
圖 6 87 5 μm 金殼PDMS方型光柵於不同波長噴流聚焦圖(亮場)	142
圖 6 88 5 μm 金殼PDMS方型光柵於不同波長噴流聚焦圖(暗場)	143
圖 6 89 5 μm 金殼PDMS三角型光柵於不同波長噴流聚焦圖(亮場)	144
圖 6 90 5 μm 金殼PDMS三角型光柵於不同波長噴流聚焦圖(暗場)	145
圖 6 91 0.01 mm 標準試片	146
圖 6 92 電腦程式分析0.01 mm 標準試片數據	146
圖 6 93各尺寸無殻半圓型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	147
圖 6 94各尺寸無殻半圓型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	148
圖 6 95各尺寸無殻半圓型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	148
圖 6 96各尺寸無殻半圓型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	149
圖 6 97各尺寸無殻方型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	150
圖 6 98各尺寸無殻方型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	150
圖 6 99各尺寸無殻方型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	151
圖 6 100各尺寸無殻方型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	151
圖 6 101各尺寸無殻三角型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	152
圖 6 102各尺寸無殻三角型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	153
圖 6 103各尺寸無殻三角型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	153
圖 6 104各尺寸無殻三角型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	154
圖 6 105各尺寸銅殻半圓型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	155
圖 6 106各尺寸銅殻半圓型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	155
圖 6 107各尺寸銅殻半圓型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	156
圖 6 108各尺寸銅殻半圓型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	156
圖 6 109各尺寸銅殻方型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	157
圖 6 110各尺寸銅殻方型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	158
圖 6 111各尺寸銅殻方型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	158
圖 6 112各尺寸銅殻方型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	159
圖 6 113各尺寸銅殻三角型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	160
圖 6 114各尺寸銅殻三角型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	160
圖 6 115各尺寸銅殻三角型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	161
圖 6 116各尺寸銅殻三角型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	161
圖 6 117各尺寸銀殻半圓型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	162
圖 6 118各尺寸銀殻半圓型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	163
圖 6 119各尺寸銀殻半圓型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	163
圖 6 120各尺寸銀殻半圓型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	164
圖 6 121各尺寸銀殻方型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	165
圖 6 122各尺寸銀殻方型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	165
圖 6 123各尺寸銀殻方型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	166
圖 6 124各尺寸銀殻方型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	166
圖 6 125各尺寸銀殻三角型噴流模擬實驗焦距比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	167
圖 6 126各尺寸銀殻三角型噴流模擬實驗長度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	168
圖 6 127各尺寸銀殻三角型噴流模擬實驗寬度比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	168
圖 6 128各尺寸銀殻三角型噴流模擬實驗能量比對圖(a) 5 µm (b) 8µm (c) 10 µm	169
圖 6 129 5 µm 金殼光柵噴流模擬與實驗數據的焦距比對圖(a)半圓型 (b)方型 (c)三角形	170
圖 6 130 5 µm 金殼光柵噴流模擬與實驗數據的長度比對圖(a)半圓型 (b)方型 (c)三角形	171
圖 6 131 5 µm 金殼光柵噴流模擬與實驗數據的寬度比對圖(a)半圓型 (b)方型 (c)三角形	171
圖 6 132 5 µm 金殼光柵噴流模擬與實驗數據的能量強度比對圖(a)半圓型 (b)方型 (c)三角形	172

表目錄
表 2 1 個符號及物理意義及單位	14
表 3 1 數值模擬建模參數表	20
表 4 1 光學顯微鏡各代號名稱	57
表 4 2 CCD規格及優點	58
表 4 3 物鏡規格表	59
表 4 4 紅光雷射規格	60
表 4 5 綠光雷射規格	61
表 4 6 藍光雷射規格	61
表 5 1 PDMS製程參數	68
表 5 2 濺鍍參數	72
表 5 3 鍍金參數	73
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