由於光學和光電產業的快速發展，對具微結構之組件及模具之需求均大量增加。目前雖有許多方法可用以產出這些微結構，但精密鑽石車削迄今仍為最常使用的方法。然而，鑽石車削亦有其自身的問題亟需解決。其中微切削過程中易產生微毛邊的缺點，即為需要進一步研究並找出有效解決辦法的項目之一。本研究利用有限元素模擬及微刮痕/鑽石車削實驗針對毛邊形成過程進行分析。除鑽石車削中刀具磨耗外亦針對對其它切削參數諸如傾角、刀具內夾角及傾側角對切屑和毛邊形成造成之影響進行系統性的研究。研究結果顯示（一）刀具切削刃口銳利度與刀具傾角和刀具內夾角對毛邊的形成和加工表面之粗糙度均有很大的影響，（二）透過對微切削過程之模擬可對如何設定微切削之加工參數以達致抑制毛邊之目的提供極具參考價值的資訊。

Owing to the rapid development in the optical and opto-electronic industries, components/molds with micro patterns are in great demands. Although many approaches can be　adopted to generate those micro-structures, precision diamond turning is by far the most commonly used method. However, diamond turning has its own problems to resolve. Micro-burr produced during the micro-cutting process is one of these drawbacks needing further investigation and, a feasible solution. Efforts have been made in this study to analyze the burr formation process in diamond turning by FEM simulation, micro-scratching and diamond turning. Influence of tool wear and cutting parameters such as rake angle, included angle and inclined angle on the chip and burr formation in diamond turning were systematically investigated. The results showed that (i) tool cutting edge sharpness together with tool rake angle and included angle have profound effect on burr formation and achievable surface finish, (ii) simulation can supply very useful information for setting the machining parameters to suppress the burr formation during micro-cutting process.

目錄
誌謝	I
中文摘要	II
英文摘要	III
目錄	IV
圖目錄	VII
表目錄	XI
第一章 緒論	1
1-1 前言	1
1-2 研究背景	2
1-3 研究動機與目的	4
第二章 文獻回顧與理論基礎	6
2-1 單點鑽石車削	6
2-1-1鑽石刀具	6
2-1-2鑽石刀具磨耗	8
2-2 切削與切屑	11
2-2-1 切削力學	11
2-2-2 切削模型	14
2-2-3尺寸效應	14
2-2-4切屑形成與分類	15
2-3 毛邊的形成與形狀	19
2-3-1毛邊(BURR)定義	19
2-3-2毛邊分類	20
2-3-3毛邊形成機制	22
2-4 切削毛邊模擬與預測	25
2-4-1毛邊預測	25
2-4-2毛邊模擬	26
2-4-3毛邊移除	26
第三章 實驗設備與實驗步驟	29
3-1實驗目的	29
3-2 實驗規劃	29
3-3 實驗設備及方法	31
3-3-1工件與刀具	31
3-3-2刀具加工前之表面檢測	32
3-3-3 模擬與分析	33
3-3-4 加工機具	33
3-4加工表面檢測	35
3-4-1 掃描式電子顯微鏡	35
3-4-2金相光學顯微鏡	35
3-4-3雷射共軛焦顯微鏡	36
第四章 研究結果與討論	38
4-1不同刀具幾何參數	38
4-1-1刀具傾角與毛邊高度之關係	38
4-1-2刀具內夾角與毛邊高度之關係	43
4-1-3刀具磨耗與毛邊高度之關係	45
4-1-4刀鼻半徑與毛邊高度之關係	51
4-2不同切削參數	54
4-2-1切削深度與毛邊高度之關係	54
4-2-2刀具切削速度與毛邊高度之關係	57
4-2-3刀具傾側角與毛邊高度之關係	60
4-2-4斜交角度與毛邊高度之關係	65
第五章 結論	71
參考文獻	73

圖目錄
圖 2- 1 正交切削模式切削分力圖【12】 .............................................. 11
圖2- 2 剪切角大小之影響示意圖【13】 .............................................. 12
圖2- 3 正交切削與斜交切削【14】 ...................................................... 14
圖2- 4 切屑過程【15】 .......................................................................... 16
圖2- 5 連續式切屑【17】 ...................................................................... 17
圖2- 6 不連續之切屑【17】 .................................................................. 18
圖2- 7 積屑刃切屑【17】 ...................................................................... 18
圖2- 8 毛邊示意圖【18】 ...................................................................... 19
圖2- 9 切削毛邊類型【21】 .................................................................. 21
圖2- 10 毛邊形成機制示意圖Ⅰ【22】 ................................................ 22
圖2- 11 毛邊形成機制示意圖Ⅱ【22】 ................................................ 23
圖2- 12 黃銅與不銹鋼微結構中毛邊移除後的比較圖【32】 ............ 27
圖3- 1 實驗規劃流程圖 .......................................................................... 30
圖3- 2 單晶鑽石刀尖 .............................................................................. 31
圖3- 3 Pr0-E 繪製鑽石刀具 .................................................................... 31
圖3- 4 加工工件 ...................................................................................... 32
圖3- 5 夾治具 .......................................................................................... 32
圖3- 6 刀具OM 圖 .................................................................................. 32
圖3- 7 模擬程式自動產生工件 .............................................................. 33
圖3- 8 劃線機 .......................................................................................... 34
圖3- 9 電子顯微鏡 .................................................................................. 36
圖3- 10 金相光學顯微鏡 ........................................................................ 37
圖3- 11 雷射共軛焦顯微鏡 .................................................................... 37
圖4- 1 刀具傾角示意圖 .......................................................................... 38
圖4- 2 刀具傾角模擬切削參數 .............................................................. 39
圖4- 3 不同負傾角與刀具角度30°毛邊關係 ....................................... 39
圖4- 4 不同負傾角與刀具角度45°毛邊關係 ....................................... 39
圖4- 5 不同負傾角與刀具角度90°毛邊關係 ....................................... 40
圖4- 6 不同正傾角與刀具角度30°毛邊關係 ....................................... 40
圖4- 7 不同正傾角與刀具角度45°毛邊關係 ....................................... 40
圖4- 8 不同正傾角與刀具角度90°毛邊關係 ....................................... 41
圖4- 9 刀具內夾角90°傾角-15°切削深度和毛邊關係(模擬與實驗) . 42
圖4- 10 傾角-5°不同刀具角度與毛邊關係 ........................................... 43
圖4- 11 傾角-10°不同刀具角度與毛邊關係 ......................................... 43
圖4- 12 傾角-15°不同刀具角度與毛邊關係 ......................................... 44
圖4- 13 傾角5°不同刀具角度與毛邊關係 ........................................... 44
圖4- 14 傾角10°不同刀具角度與毛邊關係 ......................................... 44
圖4- 15 傾角15°不同刀具角度與毛邊關係 ......................................... 45
圖4- 16 刀具磨耗切削示意圖 ................................................................ 46
圖4- 17 刀具磨耗模擬參數 .................................................................... 46
圖4- 18 刀具磨耗右傾側與刀具角度30°毛邊關係 ............................. 46
圖4- 19 刀具磨耗右傾側與刀具角度45°毛邊關係 ............................. 47
圖4- 20 刀具磨耗右傾側與刀具角度90°毛邊關係 ............................. 47
圖4- 21 刀具磨耗左傾側與刀具角度30°毛邊關係 ............................. 47
圖4- 22 刀具磨耗左傾側與刀具角度45°毛邊關係 ............................. 48
圖4- 23 刀具磨耗左傾側與刀具角度90°毛邊關係 ............................. 48
圖4- 24 刀具90°磨耗全貌與雷射共軛焦顯微鏡量測 ......................... 49
圖4- 25 刀具右磨耗4μm 切削示意圖 ................................................... 49
圖4- 26 刀具角度90°刀具右磨耗4μm 右傾側切削(模擬和實驗) ..... 51
圖4- 27 刀鼻半徑切削示意圖 ................................................................ 51
圖4- 28 刀鼻半徑模擬切削參數 ............................................................ 52
圖4- 29 刀鼻半徑負傾角與刀具角度30°毛邊關係 ............................. 52
圖4- 30 刀鼻半徑負傾角與刀具角度45°毛邊關係 ............................. 52
圖4- 31 刀鼻半徑負傾角與刀具角度90°毛邊關係 ............................. 53
圖4- 32 刀鼻半徑正傾角與刀具角度30°毛邊關係 ............................. 53
圖4- 33 刀鼻半徑正傾角與刀具角度45°毛邊關係 ............................. 53
圖4- 34 刀鼻半徑正傾角與刀具角度90°毛邊關係 ............................. 54
圖4- 35 不同切削深度負傾角對於刀具角度30°毛邊關係 ................. 54
圖4- 36 不同切削深度負傾角對於刀具角度45°毛邊關係 ................. 55
圖4- 37 不同切削深度負傾角對於刀具角度90°毛邊關係 ................. 55
圖4- 38 不同切削深度正傾角對於刀具角度30°毛邊關係 ................. 55
圖4- 39 不同切削深度正傾角對於刀具角度45°毛邊關係 ................. 56
圖4- 40 不同切削深度正傾角對於刀具角度90°毛邊關係 ................. 56
圖4- 41 切削速度切削示意圖 ................................................................ 57
圖4- 42 切削速度模擬參數 .................................................................... 57
圖4- 43 不同切削速度負傾角與刀具角度30°毛邊關係 ..................... 58
圖4- 44 不同切削速度負傾角與刀具角度45°毛邊關係 ..................... 58
圖4- 45 不同切削速度負傾角與刀具角度90°毛邊關係 ..................... 58
圖4- 46 不同切削速度正傾角與刀具角度30°毛邊關係 ..................... 59
圖4- 47 不同切削速度正傾角與刀具角度45°毛邊關係 ..................... 59
圖4- 48 不同切削速度正傾角與刀具角度90°毛邊關係 ..................... 59
圖4- 49 傾側角切削示意圖 .................................................................... 60
圖4- 50 左、右傾側切削 ........................................................................ 60
圖4- 51 刀具傾側角模擬參數 ................................................................ 61
圖4- 52 左傾側角與刀具角度30°毛邊關係 ......................................... 61
圖4- 53 左傾側角與刀具角度45°毛邊關係 ......................................... 61
圖4- 54 左傾側角與刀具角度90°毛邊關係 ......................................... 62
圖4- 55 右傾側角與刀具角度30°毛邊關係 ......................................... 62
圖4- 56 右傾側角與刀具角度45°毛邊關係 ......................................... 62
圖4- 57 右傾側角與刀具角度90°毛邊關係 ......................................... 63
圖4- 58 刀具90°左傾側15°切削和毛邊關係(模擬與實驗) ................ 64
圖4- 59 刀具斜交切削示意圖 ................................................................ 65
圖4- 60 左、右斜交切削(上視圖) ......................................................... 65
圖4- 61 刀具斜交模擬切削參數 ............................................................ 66
圖4- 62 右斜交切削與刀具角度30°毛邊關係 ..................................... 66
圖4- 63 右斜交切削與刀具角度45°毛邊關係 ..................................... 66
圖4- 64 右斜交切削與刀具角度90°毛邊關係 ..................................... 67
圖4- 65 左斜交切削與刀具角度30°毛邊關係 ..................................... 67
圖4- 66 左斜交切削與刀具角度45°毛邊關係 ..................................... 67
圖4- 67 左斜交切削與刀具角度90°毛邊關係 ..................................... 68
圖4- 68 刀具90°斜交角度15°(實驗) .................................................... 68
圖4- 69 刀具角度90°右斜交切削15°(模擬和實驗) ............................ 70

表目錄
表 1- 1 微元件與微模具之對照比較【3】 .............................................. 3
表2- 1 氮化硼(cBN)刀具、陶瓷刀具與鑽石刀具之比較【7】 ............ 7
表2- 2 剪切角(φ)與切削作用之影響 ..................................................... 13
表2- 3 不同加工方法產生的毛邊種類【19】【20】 ............................ 20
表2- 4 毛邊形成機制第六至第八階段 .................................................. 24
表4- 1 刀具內夾角90°傾角-15°實驗與模擬比較 ................................ 41
表4- 2 刀具磨耗90°右傾側15°不同切削深度模擬與實驗比較......... 50
表4- 3 刀具角度90°左傾側15°不同切削深度模擬與實驗比較......... 63
表4- 4 刀具90°傾角-15°右斜交角度15°模擬與實驗比較 .................. 69

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