淡江大學覺生紀念圖書館 (TKU Library)
進階搜尋


  查詢圖書館館藏目錄
系統識別號 U0002-1808201112170900
中文論文名稱 光機電整合:基於布拉格光纖光柵之介尺度三維量測研究
英文論文名稱 Optomechatronics: The Study of Fiber Bragg Grating Based Meso-scale Three-dimensional Measurement
校院名稱 淡江大學
系所名稱(中) 機械與機電工程學系碩士班
系所名稱(英) Department of Mechanical and Electro-Mechanical Engineering
學年度 99
學期 2
出版年 100
研究生中文姓名 洪堯宇
研究生英文姓名 Yao-Yu Hong
學號 698371795
學位類別 碩士
語文別 中文
口試日期 2011-07-18
論文頁數 112頁
口試委員 指導教授-吳乾埼
委員-戴慶良
委員-許正治
委員-吳乾埼
中文關鍵字 布拉格光纖光柵  介尺度  干涉  相位 
英文關鍵字 Fiber Bragg grating  Meso-scale  Interference  Phase 
學科別分類 學科別應用科學機械工程
中文摘要 全球當前量測技術於介尺度三維量測上遭遇到瓶頸,而該技術瓶頸乃在於探針式探頭感測器的設計與製造上。隨著科技進步,特徵尺寸範圍在μm到mm的介尺度元件需求急速增加,量測準確度需求更已達到奈米等級。過去十年,全球各主要國家的研究組織結合全球知名公司進行多項與探頭感測器相關的研究工作,但並沒有太大的突破。主要的原因在於他們所提出的方法多半有靈敏度不高、探針施力過大以及探針直徑太粗等問題。本研究提出一種高靈敏度的光纖探針式探頭光學感測技術,它沒有前述的缺點,它採用布拉格光纖光柵原理,搭配光學干涉術,可確保光纖探頭感測器在奈米等級位移時即能夠產生碰觸觸發訊號,很有機會可以突破全球當前量測技術的瓶頸。
英文摘要 Currently the global measurement technology in meso-scale three-dimensional topographyencountered a bottleneck, which lies in the design and manufacture of the probe type of the probing sensor. With the progress of science and technology, the need of meso-scale components with their feature size ranging from micrometers to millimeters rapidly increase. The demand for measurement accuracy has reached the nanometer level even more. Over the past decade, the world’s major countries, cooperated with world-renowned research organizations and companies to carry out a number of research work related to the probing sensors, but there is not any great breakthrough. The main reason is that most of the proposed methods have low sensitivities, large contact forces and large probe diameters. In this study, a optical sensing technique of fiber probing head with high sensitivity is proposed. It does not have the foregoing shortcomings. Besides, it adopts fiber Bragg grating principle and optical interferometry. It can ensure the fiber probing head outputs the touch-trigger signal within nanometer scale displacement. It is likely to be able to break through the current global bottlenecks in measurement technology.
論文目次 目錄
中文摘要 I
英文摘要 II
目錄 III
表目錄 VI
圖目錄 VII
符號說明 XI
第一章 緒 論 1
1.1 研究背景 1
1.2 研究動機 5
1.3 文獻回顧 7
1.3.1光纖光柵感測技術概述 7
1.3.2探頭感測器的國內外研究現狀 10
1.4研究目的 15
1.5論文架構和創新點 15
1.5.1論文架構 15
1.5.2論文的創新點 16
第二章 光纖感測原理 18
2.1光纖的基本介紹 18
2.1.1光纖構造 18
2.1.2光纖主要分類 18
2.1.3光纖訊號傳輸原理 21
2.1.4光纖的損耗 28
2.2光纖之應用及感測器分類 32
2.2.1以感測元件分類 33
2.2.2以解調方式分類 33
2.2.3干涉現象 35
2.3光纖光柵基本介紹 38
2.3.1光纖光柵原理 38
2.3.2光纖光柵分類 40
2.3.3光纖光柵多工感測器 44
2.3.4光纖光柵感測器的訊號解調技術 47
2.3.4.1濾波法 47
2.3.4.2干涉法 52
2.4光纖光柵感測器之製作技術 55
2.5光彈理論與熱光效應 60
2.5.1光彈理論 60
2.5.2熱光效應 64
2.6布拉格光纖光柵中心反射波長飄移理論 64
2.6.1波長飄移與應變關係 64
2.6.2波長飄移與溫度關係 67
2.7模態耦合理論 68
第三章 光纖探針式探頭光學感測系統 74
3.1光學相位式感測技術 74
3.2相位展開 75
3.3解相位技術 77
3.4實驗量測 78
3.4.1實驗儀器與元件規格 79
3.4.2訊號處理系統 84
3.4.3實驗驗證 85
第四章 實驗結果與討論 87
4.1光纖探針研製 87
4.2光學相位式位移量測 89
4.2.1光源與光纖的耦合 89
4.2.2繞射極限 91
4.2.3實驗內容和步驟 95
第五章 結論與展望 102
參考文獻 104

表目錄
表 1解調方法優缺點對照表 54
表 2石英光纖材料性質 67
表 3象限的判別 76
表 4實驗儀器與元件規格 82
表 5光纖耦合系統儀器與裝置規格 95

圖目錄
圖 1全球三維量測技術瓶頸範圍:圖中“??”區塊乃當前全球量測技術瓶頸範圍 1
圖 2探針式探頭感測器的量測概念架構示意圖 2
圖 3三次元量測儀量測誤差的來源 3
圖 4幾個典型的微小元件:(a)光纖接頭;(b)生醫用微模具;(c)精密量測用光纖球頭;(d)生醫用微流道;(e)精細機械元件 4
圖 5軟性顯示器roll-to-roll製程的介尺度量測問題示意圖:AFM是量測微奈米結構三維形貌的代表工具,三次元量測儀(CMM)則是工業尺寸量測代表工具,屬於大尺度的量測技術,這兩種現代重要的量測工具均無法應用於介尺度的微結構量測 5
圖 6被測對象市場所占百分比 10
圖 7光纖感測器技術所占百分比 10
圖 8Richard等人提出的電容式探頭感測器結構示意圖 11
圖 9Meli等人所提出撓性機構式的探頭感測器結構:(a)(b)(c)示意圖(d)實體圖 12
圖 10雷射捕捉探頭感測技術 12
圖 11Bos等人所提出的應變規式探頭感測器 13
圖 12Chu等人提出之光學式探頭感測器結構:(a)示意圖(b)實體圖 14
圖 13Ji提出的光纖探頭感測技術 14
圖 14非接觸光學式探頭結構示意圖 15
圖 15光纖基本結構示意圖 18
圖 16不同種類光纖示意圖 20
圖 17光纖依傳播模態數分類 21
圖 18Snell’s law示意圖 22
圖 19光在光纖中傳輸原理 23
圖 20低階模態光場分布影像 27
圖 21光纖各種損耗原因 28
圖 22光纖損耗示意圖 29
圖 23石英系列光纖之損失曲線 31
圖 24(A)完全建設性干涉(B)完全破壞性干涉(C)破壞性干涉 36
圖 25顯微鏡底下觀察之干涉條紋 36
圖 26光纖光柵原理示意圖 38
圖 27光纖光柵之反射與穿透光 40
圖 28短週期式光纖光柵工作原理示意圖 41
圖 29短週期式光纖光柵模態耦合示意圖 42
圖 30長週期式光纖光柵工作原理示意圖 43
圖 31長週期式光纖光柵模態耦合示意圖 43
圖 32單點量測之光纖光柵感測器 44
圖 33分波多工光纖光柵感測器 45
圖 34並聯式分時多工光纖光柵感測器 45
圖 35分枝式分時多工光纖光柵感測器 46
圖 36WDM加上並聯式TDM多工光纖光柵感測器 46
圖 37WDM加上分枝式TDM多工光纖光柵感測器 46
圖 38匹配光柵濾波法 48
圖 39邊緣濾波器原理 49
圖 40邊緣濾波法 50
圖 41F-P腔結構 51
圖 42可調諧F-P濾波法 51
圖 43可調諧窄帶光源法 52
圖 44非平衡M-Z干涉法 53
圖 45非平衡掃描麥克森干涉法 54
圖 46含鍺玻璃內的GeO缺陷示意圖 56
圖 47在光纖上寫入光柵的幾種方式的示意圖 57
圖 48相位光罩法原理示意圖 59
圖 49均勻光纖光柵傳輸矩陣模型示意圖 71
圖 50非均勻光纖光柵傳輸矩陣模型示意圖 73
圖 51探針式探頭之光學相位式感測技術光路示意圖 75
圖 52原始 函數 76
圖 53經過相位重建的 函數 77
圖 54呂薩加圓解相位示意圖 78
圖 55系統實驗流程圖 79
圖 56雷射頭 79
圖 57光纖耦合器 80
圖 58光偵測器 81
圖 59示波器 81
圖 60探頭感測器架構實體圖 83
圖 61雷射控制器 83
圖 62NI BNC-2110接線盒 84
圖 63NI PCI-6143資料擷取卡 84
圖 64實驗時所採用的加載方式示意圖 85
圖 65加載機構實體圖 85
圖 66探頭感測器校正系統的架構示意圖 86
圖 67HP5529A雷射干涉儀 86
圖 68COMPexPro 201 F型KrF準分子雷射加工系統實體圖 87
圖 69準分子雷射加工系統功能方塊圖 88
圖 70PS750光敏光纖 88
圖 71布拉格光纖光柵探針製程架構 89
圖 72兩片楔形板所構成之夾角 89
圖 73光纖耦合損耗 90
圖 74高斯光束傳輸示意圖 93
圖 75高斯光束直徑的界定示意圖 94
圖 76物鏡聚焦於光纖條件示意圖 95
圖 77正面觀察光纖(光學顯微鏡以20倍率拍攝) 98
圖 78側面觀察光纖(光學顯微鏡以20倍率拍攝) 98
圖 79物鏡與光纖配置實體圖 99
圖 80光纖耦光實體圖 100
圖 81雷射光強訊號 101





參考文獻 [1]吳,乾埼, 微型三次元量測儀探針技術研究, FY93, 工業技術研究院前瞻科專計畫書, (2004)
[2]翁,漢甫, 吳,乾埼, 許,正治, 奈米三維形貌量測系統研究分析, 量測資訊, 108期, 2006, 第42-45頁
[3]ASTM E1813-96(2007) Standard Practice for Measuring and Reporting Probe Tip Shape in Scanning Probe Microscopy
[4]S.C.H. Thian, et al., Dimensional measurement of 3D microstruture based on white light interferometer, Journal of Physics: Conference Series, 48 (2007) 1435.
[5]H.U. Danzebrink, L. Koenders, G. Wilkening, A. Yacoot, H. Kunzmann, Ad-vances in Scanning Force Microscopy for Dimensional Metrology, CIRP An-nals - Manufacturing Technology, 55 (2006) 841-878.
[6]H, Schwenke, F. Härtig, K.Wendt, F. Wäldele, Future challenges in coordinate metrology: addressing metrological problems for very small and very large parts, Proceedings of IDW Conference, 2001, pp. 1-12.
[7]http://www.micromanu.com/x/default.html
[8]R. Petersen, H. Rothe, A milestone in nanometrology: large area AFM-scans with the nanometer coordinate measuring machine (NCMM),” euspen Int.Topical conference, (2003) 379-382.
[9]J. Garnaes, P.E. Hansen, N. Agersnap, I. Davi, J.C. Petersen, A. Kuehle, J. Holm, L.H. Christensen, Determination of sub-micrometer high aspect ratio grating profiles, in: A. Duparre, B. Singh, Z.-H. Gu (Eds.), SPIE, San Diego, CA, USA, 2005, pp. 587803-587809.
[10]C.-M. Ke, J. Hu, W. Wang, J. Huang, H.L. Chung, C.R. Liang, V. Shih, H.H. Liu, H.J. Lee, J. Lin, Y.D. Fan, T. Yen, N. Wright, R.A. Sanchez, W. Coene, M. Noot, K. Yuan, V. Wang, K. Bhattacharyya, K. van der Mast, A scatterometry based CD metrology solution for advanced nodes, including capability of han-dling birefringent layers with uniaxial anisotropy, in: J.A. Allgair, C.J. Ray-mond (Eds.), SPIE, San Jose, CA, USA, 2009, pp. 72723R-72727.
[11]http://www.4m-net.org/files/papers/4M2007/392662/Slides-PID392662.pdf
[12]Private contact, http://www.werthmesstechnik.de/indexenglish.htm
[13]NIST MEL program, http://www.nist.gov/mel/ped/lscm/dmp.cfm
[14]M. Yamamoto, I. Kanno, S. Aoki, Profile measurement of high aspect ratio micro structures using a tungsten carbide micro cantilever coated with PZT thin films, in: Micro Electro Mechanical Systems, 2000. MEMS 2000. The Thirteenth Annual International Conference on, 2000, pp. 217-222.
[15]E. Fukada, History and recent progress in piezoelectric polymers, Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, IEEE Transactions on, 47 (2000) 1277-1290.
[16]J.F. Nye, Physical properties of crystals : their representation by tensors and matrices, Oxford : Clarendon Press, 1957.
[17]K.O. Hill, Y. Fujii, D.C. Johnson, B.S. Kawasaki, Photosensitivity in optical fiber waveguides: Application to reflection filter fabrication, Applied Physics Letters, 32 (1978) 647-649.
[18]A. Bertholds, R. Dandliker, Determination of the individual strain-optic coef-ficients in single-mode optical fibres, Lightwave Technology, Journal of, 6 (1988) 17-20.
[19]G. Meltz, W.W. Morey, W.H. Glenn, Formation of Bragg gratings in optical fibers by a transverse holographic method, Opt. Lett., 14 (1989) 823-825.
[20]K.O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D.C. Johnson, J. Albert, Bragg gratings fa-bricated in monomode photosensitive optical fiber by UV exposure through a phase mask, Applied Physics Letters, 62 (1993) 1035-1037.
[21]D.Z. Anderson, V. Mizrahi, T. Erdogan, A.E. White, Production of in-fibre gratings using a diffractive optical element, Electronics Letters, 29 (1993) 566-568.
[22]A.D. Kersey, T.A. Berkoff, W.W. Morey, High-resolution fibre-grating based strain sensor with interferometric wavelength-shift detection, Electronics Let-ters, 28 (1992) 236-238.
[23]A.D. Kersey, T.A. Berkoff, W.W. Morey, Fiber-optic Bragg grating strain sen-sor with drift-compensated high-resolution interferometric wavelength-shift detection, Opt. Lett., 18 (1993) 72-74.
[24]A.D. Kersey, A Review of Recent Developments in Fiber Optic Sensor Tech-nology, Optical Fiber Technology, 2 (1996) 291-317.
[25]Bennion, J.A.R. Williams, L. Zhang, K. Sugden, N.J. Doran, Uv-written in-fibre Bragg gratings, Optical and Quantum Electronics, 28 (1996) 93-135.
[26]A.D. Kersey, M.A. Davis, H.J. Patrick, M. LeBlanc, K.P. Koo, C.G. Askins, M.A. Putnam, E.J. Friebele, Fiber grating sensors, Lightwave Technology, Journal of, 15 (1997) 1442-1463.
[27]K.O. Hill, G. Meltz, Fiber Bragg grating technology fundamentals and over-view, Lightwave Technology, Journal of, 15 (1997) 1263-1276.
[28]T. Erdogan, Fiber grating spectra, Lightwave Technology, Journal of, 15 (1997) 1277-1294.
[29]R. Kashyap, Fiber bragg gratings, Academic Press, 1999.
[30]Y.J. Rao, Recent progress in applications of in-fibre Bragg grating sensors, Optics and Lasers in Engineering, 31 (1999) 297-324.
[31]Y.-J. Rao, In-fibre Bragg grating sensors, Measurement Science and Technol-ogy, 8 (1997) 355.
[32]B. Lee, Review of the present status of optical fiber sensors, Optical Fiber Technology, 9 (2003) 57-79.
[33]G.N. Peggs, A.J. Lewis, S. Oldfield, Design for a Compact High-Accuracy CMM, CIRP Annals - Manufacturing Technology, 48 (1999) 417-420.
[34]L. Richard, et al., Advances in traceable nanometrology at the National Physi-cal Laboratory, Nanotechnology, 12 (2001) R1.
[35]F. Meli, et al., High precision, low force 3D touch probe for measurments on small objects, euspen Int.Topical conference, Aachen, Germany, (2003) 411-414.
[36]A. Küng, et al., Ultraprecision micro-CMM using a low force 3D touch probe, Measurement Science and Technology, 18 (2007) 319.
[37]Y. Takaya, K. Imai, T. Ha, T. Miyoshi, N. Kinoshita, Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control, CIRP Annals - Manufacturing Technology, 53 (2004) 421-424.
[38]Y. Takaya, H. Shimizu, S. Takahashi, T. Miyoshi, Fundamental study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and Mirau interferometer, Measurement, 25 (1999) 9-18.
[39]M. Michihata, et al., Nano position sensing based on laser trapping technique for flat surfaces, Measurement Science and Technology, 19 (2008) 084013.
[40]M. Michihata, Y. Takaya, T. Hayashi, Development of the nano-probe system based on the laser-trapping technique, CIRP Annals - Manufacturing Technol-ogy, 57 (2008) 493-496.
[41]M. Michihata, Y. Nagasaka, T. Hayashi, Y. Takaya, Probing technique using circular motion of a microsphere controlled by optical pressure for a nano-coordinate measuring machine, Appl. Opt., 48 (2009) 198-205.
[42]E.J.C. Bos, R.W.P. Heldens, F.L.M. Delbressine, P.H.J. Schellekens, A. Diet-zel, Compensation of the anisotropic behavior of single crystalline silicon in a 3D tactile sensor, Sensors and Actuators A: Physical, 134 (2007) 374-381.
[43]A. Weckenmann, et al., Probing systems for dimensional micro- and na-no-metrology, Measurement Science and Technology, 17 (2006) 504.
[44]E. Peiner, et al., Tactile probes for dimensional metrology with microcompo-nents at nanometre resolution, Measurement Science and Technology, 19 (2008) 064001.
[45]http://www.ptb.de
[46]D. Gaoliang, et al., A high precision micro/nano CMM using piezoresistive tactile probes, Measurement Science and Technology, 20 (2009) 084001.
[47]C. Chu, C. Chiu, Development of a low-cost nanoscale touch trigger probe based on two commercial DVD pick-up heads, Measurement Science and Technology, 18 (2007) 1831.
[48]M. Born, E. Wolf, Principles of optics 7th (expanded) ed., Cambridge : Cam-bridge University Press, 1999.
[49]Y.-L. Shen, X. Zhang, Modelling of pretravel for touch trigger probes on in-dexable probe heads on coordinate measuring machines, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 13 (1997) 206-213.
[50]K. Chen-Chun, J.S. Albert, Form measurements of micro-holes, Measurement Science and Technology, 18 (2007) 3603.
[51]O. Takaaki, T. Toshio, Miniaturized three-dimensional touch trigger probe us-ing optical fibre bundle, Measurement Science and Technology, 16 (2005) 1574.
[52]H. Ji, et al., Development of a contact probe incorporating a Bragg grating strain sensor for nano coordinate measuring machines, Measurement Science and Technology, 20 (2009) 095304.
[53]K.C. Fan, et al., The development of a low-cost focusing probe for profile measurement, Measurement Science and Technology, 11 (2000) N1.
[54]K.-C. Fan, Y. Fei, X. Yu, W. Wang, Y. Chen, Study of a noncontact type mi-cro-CMM with arch-bridge and nanopositioning stages, Robotics and Com-puter-Integrated Manufacturing, 23 (2007) 276-284.
[55]廖,延彪, 光纖光學, 清華大學出版社, 2000.
[56]陳,俊仲, 光纖布拉格光柵於結構感測器之研發與應用, in: 土木工程學研究所, 國立台灣大學, 中華民國臺北市, 2003.
[57]大越孝敬, 光纖感測器, 文笙書局, 臺北市, 1995.
[58]B.E.A. Saleh, M.C. Teich, Fundamentals of photonics 1st ed., New York : Wi-ley, 1991.
[59]http://www.phy.fju.edu.tw/files/archive/298_650fe134.pdf
[60]彭,聖任, 布拉格光纖光柵側面拋光之研究, in: 電機工程所, 私立逢甲大學, 中華民國台中市, 2007.
[61]許,招墉, 光電工學概論, 全華圖書公司, 臺北縣, 2007.
[62]吳,曜東, 光纖原理與應用, 全華科技圖書公司, 臺北市, 1997.
[63]E. Udd, Fiber optic sensors : an introduction for engineers and scientists, New York : Wiley, 1991.
[64]謝,文斌, 結合光纖光柵與Mach-Zehnder光干涉量測結構振動, in: 機械工程學系, 私立元智大學, 中華民國桃園縣, 2007.
[65]A. Othonos, Fiber bragg gratings, Review of Scientific Instruments, 68 (1997) 4309.
[66]葉,天傑, 外力式長週期與傳統式短週期光纖光柵的特性分析及實驗量測, in: 機械工程學研究所, 國立臺灣大學, 中華民國臺北市, 2002.
[67]于,蕾, 光纖Bragg光柵振動檢測系統的設計与應用, in: 控制學院, 山東大學, 中國山東省濟南市, 2007.
[68]D.A.B. Miller, D.S. Chemla, T.C. Damen, A.C. Gossard, W. Wiegmann, T.H. Wood, C.A. Burrus, Electric field dependence of optical absorption near the band gap of quantum-well structures, Physical Review B, 32 (1985) 1043.
[69]B. Poumellec, F. Kherbouche, The Photorefractive Bragg Gratings in the Fi-bers for Telecommunications J. Phys. III France, 6 (1996) 1595-1624
[70]郭,原宏, 光纖光柵感測器於結構監測之應用, in: 土木工程學研究所, 國立台灣大學, 中華民國台北市, 2000.
[71]N.H. Rizvi, M.C. Gower, Production of submicrometer period Bragg gratings in optical fibers using wavefront division with a biprism and an excimer laser source, Applied Physics Letters, 67 (1995) 739-741.
[72]B. Malo, K.O. Hill, F. Bilodeau, D.C. Johnson, J. Albert, Point-by-point fabri-cation of micro-Bragg gratings in photosensitive fibre using single excimer pulse refractive index modification techniques, Electronics Letters, 29 (1993) 1668-1669.
[73]K.O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D.C. Johnson, J. Albert, Bragg gratings fa-bricated in monomode photosensitive optical fiber by UV exposure through a phase mask, Applied Physics Letters, 62 (1993) 1035-1037.
[74]D.Z. Anderson, V. Mizrahi, T. Erdogan, A.E. White, Production of in-fibre gratings using a diffractive optical element, Electronics Letters, 29 (1993) 566-568.
[75]S. Takahashi, S. Shibata, Thermal variation of attenuation for optical fibers, Journal of Non-Crystalline Solids, 30 (1979) 359-370.
[76]G. James M, Mechanics of Materials 6th ed., Thomson Learing, 2004.
[77]E. Udd., Fiber optic smart structures New York : Wiley, 1995.
[78]汪,政緯, 應用布拉格光纖光柵感測器於結構件承受撞擊之暫態應變量測, in: 工學院機械工程學系, 國立臺灣大學, 中華民國臺北市, 2008.
[79]M. Yamada, K. Sakuda, Analysis of almost-periodic distributed feedback slab waveguides via a fundamental matrix approach, Appl. Opt., 26 (1987) 3474-3478.
[80]H. Kogelnik, C.V. Shank, Coupled-Wave Theory of Distributed Feedback Lasers, Journal of Applied Physics, 43 (1972) 2327-2335.
[81]A. Yariv, M. Nakamura, Periodic structures for integrated optics, Quantum Electronics, IEEE Journal of, 13 (1977) 233-253.
[82]A. Yariv, Coupled-mode theory for guided-wave optics, Quantum Electronics, IEEE Journal of, 9 (1973) 919-933.
[83]廖,幫全, 趙,啟大, 馮,德軍, 黃,勇林, 李,杰, 王,躍, 董,孝義, 光纖耦合模理論及其在光纖布拉格光柵上的應用, 光學學報, 22 (2002).
[84]劉,漢平, 王,健剛, 趙,之聖, 陳,冰泉, 光纖布拉格光柵的耦合模理論分析, 山東大學學報(理學版), 41 (2006).
[85]D. Marcuse, Theory of dielectric optical waveguides 2nd ed., Boston : Aca-demic Press, 1991.
[86]A. Yariv, P. Yeh, Optical waves in crystals, New York : Wiley, 1984.
[87]A.W. Snyder, J.D. Love., Optical Waveguide Theory, New York : Chapman and Hall, 1983.
[88] http://wwwme.nchu.edu.tw/~holo/
[89] 吳,乾埼, 繞射式雷射光學尺系統之研製, in: 機械工程學研究所, 國立台灣大學, 中華民國台北市, 2001.
[90]http://www.thorlabs.com/
[91]http://www.doit-opto.com.tw/
[92]http://www.ni.com.tw/
[93]HP5529A User’s Manual, http://www.agilent.com.
[94]F. Kuang-Chao, et al., Experimental study of fabricating a microball tip on an optical fibre, Journal of Optics A: Pure and Applied Optics, 8 (2006) 782.
[95]http://www.coherent.com/
論文使用權限
  • 同意紙本無償授權給館內讀者為學術之目的重製使用,於2016-08-30公開。
  • 不同意授權瀏覽/列印電子全文服務。


  • 若您有任何疑問,請與我們聯絡!
    圖書館: 請來電 (02)2621-5656 轉 2281 或 來信