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系統識別號 U0002-0709201500130200
中文論文名稱 精密微玻璃光學元件之開發及製作
英文論文名稱 Research on Fabrication Processes For Precision Micro Glass Optical Components
校院名稱 淡江大學
系所名稱(中) 機械與機電工程學系博士班
系所名稱(英) Department of Mechanical and Electro-Mechanical Engineering
學年度 103
學期 2
出版年 104
研究生中文姓名 張家榮
研究生英文姓名 Chia-Jung Chang
學號 898370035
學位類別 博士
語文別 中文
口試日期 2015-07-14
論文頁數 197頁
口試委員 指導教授-趙崇禮
委員-左培倫
委員-楊耀波
委員-陳順同
委員-馬廣仁
中文關鍵字 超精密磨削  超精密銑削  微陣列透鏡 
英文關鍵字 Ultra-precision grinding  Ultra-precision milling  Micro-lens array 
學科別分類
中文摘要 為因應人們對影像品質及相關光學系統持續翻新的”苛刻”要求,對小尺寸且形狀/結構複雜之光學鏡片/鏡頭模組的需求也隨之快速成長;其中,微米~次毫米尺度,具有優越表面粗糙度與高形狀精度之微非球面透鏡及自由曲面透鏡更是需求日益殷切的光學元件。通常為了能獲得較佳的光學性能表現,光學透鏡/鏡頭模組必須具有高且穩定之折射率、高穿透率、優越的耐蝕性及耐刮削、衝擊性與優良的環境耐久性等高品質光學元件之基本需求。相較於塑膠鏡片,光學玻璃鏡片雖然成本較高且較不易生產,但卻比塑膠材料更能滿足上述之各項需求。
本研究致力於研發可行且有效率生產次毫米尺寸非球面玻璃透鏡/陣列式玻璃透鏡之製程,本研究致力於研發可行且有效率生產次毫米尺寸非球面玻璃透鏡/陣列式玻璃透鏡之製程,研究中除研製UV光固化樹脂鑽石砂輪(直徑0.4mm、 磨粒粒徑2~4μm / 30~40μm) 並搭配開發線上磨耗監控系統運用於超精密磨削加工以成功產出表面粗糙度優於8nm(Ra)且形狀精度優於0.2μm之碳化鎢模具,並以此模具模造成形出表面粗糙度優於10nm且形狀精度優於0.5μm而直徑為0.5mm之玻璃非球面透鏡。
由於小尺寸砂輪因磨耗導致的加工形狀誤差,通常需經由多次的誤差補償計算及反覆加工,才可滿足嚴謹的形狀精度需求。因此,若使用磨削加工方式加工陣列式透鏡模具必定需要極其冗長的加工時間,難於被業界所接受,本研究開發出另一種模具製作方式,即為單點鑽石微銑削加工電漿離子滲氮處理過之不銹鋼材料,可大幅縮短製作模具之時間,首先將鋼材STAVAX與SKD61做粗創加工後進行離子滲氮表面處理,再使用精密鑽石微銑削加工得到最終形狀,本研究中以加工製作一4*4非球面微陣列模具為驗證,每顆透鏡直徑為1.5mm,最大矢高量(Sag)為24.4μm,微銑削加工所模具之每顆透鏡表面粗糙度均優於10nm且形狀精度優於1μm;而利用此不銹鋼模具進行熱壓成形之玻璃透鏡,透鏡表面粗糙度可控制於10nm以下且形狀精度在3μm以下,各項結果證實本研究開發之製程可精確且有效率的製作出次毫米尺寸非球面玻璃透鏡與陣列式非球面透鏡。
英文摘要 Owing to the fast growing demands for smaller and more complex optical systems, micrometer to sub-millimeter lenses and free-formed optics with superb surface finish and high profile accuracy are attracting more and more attention. To pursue better performance, higher and more stable refraction index, higher transmissivity, better chemical/mechanical resistance and better environmental durability are normally the basic requirements of a high quality optical lens/lens module. In comparison to plastic lenses, glass lenses, though relatively more expensive and difficult to produce, have the advantages of better meeting most of the above mentioned requirements.
This research aims to develop an effective process to fabricate sub-millimeter glass lenses and glass lens arrays. UV-cured resin bond diamond grinding wheels of 2~4 µm /30~40 µm in grit size and 0.4 mm in diameter together with in-process optical wear monitoring system were developed and adopted in the precision slant grinding process to successfully generate tungsten carbide (WC) molds of surface finish and profile accuracy better than 8 nm (Ra) and 0.2 µm (P-V) respectively. Glass lenses of 0.5 mm in diameter were subsequently molded by the machined WC molds to a surface finish and profile accuracy better than 10 nm (Ra) and 0.5 µm (P-V) respectively.
Due to the small dimension of grinding wheel, it generally takes many grinding cycles to compensate the form error induced by wheel wear and to meet the stringent profile accuracy requirements. This means that the machining time for a micro lens array will be too long to be industrially viable. An alternative mold producing process namely plasma nitrided stainless steels in conjunction with single point diamond mcro-milling technique was developed to shorten the mold fabrication time. STAVAX and SKD61 were rough machined and plasma-nitrided before the final profile was generated by precision diamond micro-milling process. A 4X4 aspheric micro-lens array with lens size of 1.5mm and maximum sag of 24.4 μm was successfully produced with all aspheric lenses machined to a surface finish and profile accuracy better than 10 nm (Ra) and 1 µm (P-V) respectively. The molded glass aspheric micro-lens array generated using this mold has a surface finish (Ra)/profile accuracy (P-V) better than 10 nm/3 µm. The results obtained in this study demonstrate that sub-millimeter glass aspheric lenses and glass aspheric lens arrays can be accurately and effectively produced by the developed processes.
論文目次 誌謝 I
中文摘要 III
英文摘要 V
目錄 VII
圖目錄 XI
表目錄 XVII
第一章緒論 1
1-1前言 1
1-2研究動機/目的 5
1-3文獻回顧與理論基礎 7
1-3-1光學玻璃特性 7
1-3-2模造製程 14
1-3-3超精密磨削砂輪 23
1-3-3-1磨粒/結合劑 類型 26
1-3-3-2 UV光固化技術 32
1-3-3-3砂輪的磨耗,修整與削銳 40
第二章 超精密加工 45
2-1超精密磨削加工 45
2-1-1碳化鎢特性 48
2-1-2磨削加工機制 52
2-1-3延/脆性磨削模式 58
2-1-4磨削加工條件 61
2-2超精密切削加工 67
2-2-1鑽石切削金屬 69
2-2-2鑽石刀具磨耗 74
2-2-3電漿離子滲層處理 77
2-2-4切削加工條件 83
第三章 實驗規劃與方法 87
3-1實驗目的 87
3-2實驗規劃 90
3-3實驗方法與步驟 92
3-3-1次毫米非球面透鏡/微小砂輪製作 92
3-3-2次毫米非球面透鏡/模具加工 95
3-3-3次毫米非球面透鏡/模造成形 100
3-3-4微陣列透鏡/模具加工 102
3-3-5微陣列透鏡/模造成形 106
3-4實驗設備 108
第四章 模具加工/結果與討論 120
4-1微小砂輪之磨削加工參數探討 120
4-1-1鑽石粒徑與表面粗糙度之關係 120
4-1-2鑽石集中度比例與形狀精度之關係 124
4-1-3磨削比之探討 134
4-2離子滲氮之切削加工參數探討 138
4-2-1滲層厚度、硬度、結構 138
4-2-2平面車削 140
4-2-3陣列銑削 147
第五章 玻璃成形熱壓/結果與討論 150
5-1次毫米微小透鏡之成形 150
5-1-1次毫米微小透鏡之熱壓模流分析 150
5-1-2次毫米微小透鏡之成形 153
5-2微陣列玻璃透鏡之成形 156
5-2-1微陣列玻璃透鏡之熱壓模流分析 156
5-2-2微陣列玻璃透鏡之成形 159
第六章 結論 166
參考文獻 172
附件一 184
附件二 186
附件三 192

圖目錄
圖1-1 玻璃模造熱壓成形流程圖 2
圖1-2 碳化鎢硬脆材料 3
圖1-3 各式鑽石砂輪圖 4
圖1-4 折射示意圖 7
圖1-5 Schott公司光學玻璃之Abbe Number分佈 9
圖1-6 玻璃模造流程圖 14
圖1-7 平板玻璃預形體 15
圖1-8 玻璃預形體 15
圖1-9球面鏡片預形體 16
圖1-10 玻璃模造示意圖 22
圖1-11 砂輪組成示意圖 23
圖1-12 軟砂輪加工示意圖 24
圖1-13 硬砂輪加工示意圖 25
圖1-14 光固化之反應示意圖 33
圖1-15 光起始劑濃度與固化速率關係圖 38
圖1-16 二氧化矽與彈係模數關係圖 39
圖1-17 磨耗示意圖(A)磨粒磨耗(B)磨粒破碎(C)結合劑破碎 40
圖1-18 砂輪的磨損過程分析圖 41
圖1-19 鑽石磨粒之磨耗模式 42
圖1-20 砂輪表面(a)修整與(b)削銳程序表面形貌示意圖 43
圖2-1 材料移除機制圖 46
圖2-2 超精密磨削特性 47
圖2-3 碳化鎢晶體結構圖 50
圖2-4 WC-Co微結構圖 50
圖2-5 磨削加工示意圖 53
圖2-6 切削、犁切與摩擦三階段模型 54
圖2-7 延性加工模式-碳化鎢工件表面圖 56
圖2- 8 脆性加工模式-碳化鎢工件表面圖 56
圖2-9 延性加工模式示意圖 59
圖2-10 玻璃磨削移除機制圖 60
圖2-11 進給與表粗關係圖 62
圖2-12 磨削速度與磨削力關係圖(粗加工) 63
圖2-13 磨削速度與磨削力關係圖(精加工) 63
圖2-14 表粗與磨粒大小、進給與加工速度關係圖 64
圖2-15 不同加工速度下進給與砂輪磨耗關係圖 65
圖2-16 不同加工速度下進給與表粗關係圖 65
圖2-17 砂輪軸振動與磨削速度關係圖 65
圖3-1 實驗流程圖 91
圖3-2 微小鑽頭/砂輪炳圖 93
圖3-3 棒狀砂輪製作示意圖 93
圖3-4 自製砂輪塗佈完成圖 94
圖3-5 修整砂輪架設圖 95
圖3-6 CCD砂輪影像圖 96
圖3-7 修整砂輪端面 96
圖3-8 修整砂輪端面示意圖 97
圖3-9 修整砂輪外周 97
圖3-10 修整砂輪外周示意圖 98
圖3-11 磨削加工示意圖 99
圖3-12 碳化鎢模具與套筒圖 100
圖3-13 SUMITA K-VC89玻璃球 100
圖3-14 試片破片示意圖 103
圖3-15 量測硬度示意圖 103
圖3-16 鑽石銑刀 104
圖3-17 不鏽鋼模具與套筒圖 106
圖3-18 Schott P-PK53玻璃特性 107
圖3-19 NACHI-ASP01超精密加工機 108
圖3-20 超精密加工示意圖 109
圖3-21 UV光源機 110
圖3-22 防塵暗箱 111
圖3-23 盟立GP-0165 玻璃模造機 112
圖3-24 光學顯微鏡 114
圖3-25 掃描式電子顯微鏡 115
圖3-26 雷射共軛焦顯微鏡 116
圖3-27 光學投影機 118
圖3-28 超高精度三維輪廓量測儀 119
圖4-1 結合劑M5020-不同粒徑表粗趨勢圖 122
圖4-2 結合劑M6210-不同粒徑表粗趨勢圖 122
圖4-3 各式砂輪加工表粗比較-粗加工 123
圖4-4 各式砂輪加工表粗比較-精加工 123
圖4-5 M5020 30~40μm 形狀精度趨勢圖 127
圖4-6 M6210 30~40μm 形狀精度趨勢圖 128
圖4-7 未磨耗砂輪圖 128
圖4-8 砂輪磨耗圖 129
圖4-9 M5020 2~4μm 形狀精度趨勢圖 132
圖4-10 M6210 2~4μm 形狀精度趨勢圖 133
圖4-11 自製砂輪PV、Ra比較圖 133
圖4-12 粗加工磨削比 136
圖4-13 精加工磨削比 137
圖4-14 STAVAX、SKD61斷面硬度比較圖 139
圖4-15 滲層SEM圖 139
圖4-16 STAVAX&SKD61 切深與表粗關係圖 141
圖4-17 STAVAX&SKD61 進給與表粗關係圖 142
圖4-18 試片形貌與刀具磨耗圖 143
圖4-19 兩種表面處理方式之刀具磨耗圖 146
圖4-20 銑削加工 148
圖4-21 陣列式鏡片模具圖 148
圖4-22 銑削加工模具之PV、RA 148
圖4-23 銑刀磨耗SEM圖 149
圖5-1 上、下模具3D形貌圖 151
圖5-2 次毫米微小透鏡模擬圖 151
圖5-3 模擬鏡片尺寸圖 152
圖5-4 次毫米微小透鏡鏡片圖 153
圖5-5 FTS微小透鏡量測圖 153
圖5-6 微小透鏡模擬鏡片非球面徑VS實際鏡片非球面徑 154
圖5-7 微小透鏡模擬鏡片Sag尺寸VS實際鏡片Sag尺寸 155
圖5-8 微小透鏡模具形狀精度VS實際鏡片形狀精度 155
圖5-9 P-PK53雙平面熱壓模擬示意圖 157
圖5-10 圓錠狀鏡片模擬圖 157
圖5-11 微陣列鏡片模擬示意圖 157
圖5-12 圓錠狀預形體圖 159
圖5-13 微陣列鏡片 159
圖5-14 FTS鏡片尺寸量測圖 160
圖5-15 陣列透鏡模擬鏡片直徑尺寸VS實際鏡片直徑尺寸 162
圖5-16 模擬鏡片Sag尺寸VS實際鏡片Sag尺寸 162
圖5-17 熱壓後模具OM圖 163
圖5-18 成形後鏡片OM圖 163
圖5-19 成形後鏡片形狀精度量測圖 164
圖5-20 鏡片形狀精度VS模具形狀精度 165

表目錄
表1-1 玻璃模造模仁之鍍層比較 18
表1-2 磨料的特性及使用範圍 27
表1-3 各種結合劑的特性及用途 29
表1-4 熱固性樹脂與紫外光固化樹脂之性能比較表 30
表1-5 單體或寡聚合物的官能基數目與性能之關係 34
表1-6 官能基與物性之關聯表 36
表1-7 自由基型與陽離子基型的比較 37
表3-1 兩款樹脂之特性 92
表3-2 鑽石粉規格表 92
表3-3 磨削加工參數 98
表3-4 模具非球面方程式與係數 99
表3-5 SUMITA K-VC89玻璃特性表 101
表3-6 SUMITA K-VC89模造成形參數 101
表3-7 滲氮參數 102
表3-8 車削加工參數 104
表3-9 陣列鏡片非球面係數 105
表3-10 銑削加工參數 105
表3-11 Schott P-PK53模造成形參數 107
表3-12 超精密加工機NACHi ASP01規格表 109
表3-13 光源機基本資料表 110
表3-14 盟立GP-0165 玻璃模造機規格表 113
表3-15 雷射共軛焦顯微鏡 Keyence VK-9700規格表 117
表4-1 結合劑M5020 /模具表粗量測值 121
表4-2 結合劑6210 /模具表粗量測值 121
表4-3 M5020 30~40μm 形狀精度值 125
表4-4 M6210 30~40μm 形狀精度值 126
表4-5 M5020 2~4μm 形狀精度值 130
表4-6 M5020 2~4μm 形狀精度值 131
表4-7 砂輪磨削比數據 135
表4-8 STAVAX 460℃-10Hrs 斷面硬度值 138
表4-9 SKD61 460℃-10Hrs 斷面硬度值 138
表4-10 STAVAX表面粗糙度/固定進給 140
表4-11 SKD61表面粗糙度/固定進給 140
表4-12 STAVAX表面粗糙度/固定切深 141
表4-13 SKD61表面粗糙度/固定切深 142
表4-14 離子滲氮與無電解鎳處理表面粗糙度比較表 146
表5-1 次毫米微小透鏡熱壓模擬設定參數 150
表5-2 次毫米微小透鏡模擬尺寸 152
表5-3 微小透鏡模擬鏡片尺寸與實際鏡片尺寸量測值 154
表5-4 微陣列鏡片熱壓模擬設定參數 156
表5-5 微陣列鏡面模擬尺寸 158
表5-6 陣列透鏡模擬鏡片尺寸與實際鏡片尺寸量測值 160

參考文獻 【1】 James E Shelby, “Introduction to Glass Science and Technology”, Optical Properties, 2007.
【2】 許阿娟、朱嘉雯、林佳芬、陳志隆,“光學系統設計進階篇第四章光學材料”,2002年
【3】 “http://en.wikipedia.org/wiki/Abbe_number
【4】 Scholze, Horst Scholze, translated by Michael J. Lakin. “Glass: Nature, Structure, Properties”,1991.
【5】 Eric Le, Bourhis, “Glass Mechanics and Technology”, 2008.
【6】 SUMITA,“http://www.sumita-opt.co.jp/cn/products/molding/cylindrical-array.html”
【7】 任貽均, “PIDA產業報導我國非球面鏡片市場”, 2007。
【8】 馬廣仁、趙崇禮,“精密模造玻璃技術”,2005年。
【9】 李建興, “光機電系統整合概論”,精密玻璃模造技術P54。
【10】 G.C. Firestone, A. Jain, and A.Y. Yi, “Precision Laboratory Apparatus for High Temperature Compression Molding of Glass Lenses”, American Institute of Physics. ,2005.
【11】 王崴,‘模造成形之光學鏡片直接加熱研究’,國立臺灣科技大學碩士班,2007年。
【12】 吳柏慶,‘線上觀測溫度梯度對模造玻璃成形機制之探討’,國立臺灣科技大學碩士班,2009年。
【13】 J.W. Yan , T.F. Zhou , J. Masuda , T. Kuriyagawa , ‘Modeling high-temperature glass molding process by coupling heat transfer and viscous deformation analysis’, Journal of Precision Engineering, 2009.
【14】 喻懷仁,“金屬切削原理”,宇夏人民出版社,1990。
【15】 Chen X, Rowe WB, Cai R,”Precision Grinding Using CBN Wheels. International Journal of Machine Tools and Manufacture” 2001.
【16】 Liu YK, Tso PL, “The Optimal Diamond Wheels for Grinding Diamond Tools.” International Journal of Advanced Manufacturing Technology,2003.
【17】 Tanaka T, Esaki S, Nishida K, Nakajima T, Ueno K ,“Development and Application of Porous Vitrified Bonded Wheel with Ultrafine Diamond Abrasives.” Key Engineering Materials ,2004.
【18】 Wang YH, Zhao MZ, Zang JB “Structure and Properties of Diamond Grits Coated with Corundum Micron Powder.” Key Engineering Materials ,2003.
【19】 Iwai M, Nakagawa K, Sano S, Tanaka K, Uematsu T, Mei W, Suzuki K, “A New Diamond Wheel Containing Boron Doped Diamond Abrasives Enabling Electrically Conductive Cutting Edge and High Thermal Stability.” Key Engineering Materials ,2005.
【20】 Heinzel C, Rickens K ,(2009)” Engineered Wheels for Grinding of Optical Glass.” Annals of the CIRP,2009.
【21】 D. Herman, J. Krzos, “ Influence of vitrified bond structure on radial wear of CBN grinding wheels” , Journal of Materials Processing Technology , 2009.
【22】 T. Tanaka, Y. Isono, “New development of a grinding wheel with resin cured by ultraviolet light” , Journal of Materials Processing Technology, 2001.
【23】 S.Y. Luo, Y.C. Liu, C.C. Chou, T.C. Chen, “Performance of powder filled resin-bonded diamond wheels in the vertical dry grinding of tungsten carbide” , Journal of Materials Processing Technology, 2001.
【24】 W.K. Chen, H. Huang, “Ultra precision grinding of spherical convex surfaces on combination brittle materials using resin and metal bond cup wheels”, Journal of Materials Processing Technology, 2003.
【25】 J. Qian, W. Li, H. Ohmori, “Precision internal grinding with a metal-bonded diamond grinding wheel”, Journal of Materials Processing Technology, 2000.
【26】 S.X. Wang, G. Lin, X.J. Liu, B. Geng, S.C. Niu, “ Manufacture of a new kind diamond grinding wheel with Al-based bonding agent” , journal of materials processing technology, 2009.
【27】 J. Kindernay, A. Blazkova, J. Ruda, V. Jan, Z. Jakub, “Effect of UV light source intensity and spectral distribution on the photopolymerisation reactions of a multifunctional acrylated monomer”, Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry, 2002.
【28】 樊美公,“光化學基本原理與光子學材料科學” ,科學出版社,2000。
【29】 S.Peter,“UV Curing Science and Technology”,Technology Marking, 1980.
【30】 王德海,江欞,”紫外光固化材料之理論與應用”,科學出版社, 2001。
【31】 劉建良,”化工資訊與商情”,2001。
【32】 王德中,“環氧樹脂生產與應用”,化學工業出版社,2001。
【33】 F. Michael, Lucey, “UV curable coatings for electronic components”, IEEE Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology, 1994.
【34】 C.S.B. Ruiz, L.D.B. Machado, J.E. Volponi, E.S. Pino , “Influence of sample composition and processing parameters on the UV cure of clear coatings”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research , 2003.
【35】 J. Kindernay, A. Blazkova, J. Ruda, V. Jan covi cova, Z. Jakub kova, “Effect of UV light source intensity and spectral distribution on the photopolymerisation reactions of a multifunctional acrylated monomer”, Journal of Photochemistry and Photobiology, 2002.
【36】 P. Rosso, L. Ye, K. Friedrich, S. Sprenger, “A toughened epoxy resin by silica nanoparticle reinforcement” , Journal of Applied Polymer Science,2006.
【37】 L.H. Li, W.J. Xua, Y.M. Wu, Y.Q. Xiong, W.H. Lua, Q.J. Tang. “Synthesis of polyamide-silicone polyacrylate and its UV curing properties”, 2005.
【38】 R. Bongiovanni, M. Sangermano, G. Malucelli, A. Priola, ” UV curing of photoinitiator-free systems containing bismaleimides and diacrylate resins: bulk and surface properties” , Progress in Organic Coatings, 2005.
【39】 X. Xiao, C. Hao, “Preparation of waterborne epoxy acrylate silica sol hybrid materials and study of their UV curing behavio”, Colloids and Surfaces, 2010.
【40】 L. Hu, W. Shi, “UV-cured organic–inorganic hybrid nanocomposite initiated by rimethoxysilane-modified fragmental photoinitiator”, Composites, 2011.
【41】 M. Alfares, A. Elsharkawy,“Effect of grinding force on the vibration of grinding machine spindle system”, International Journal of Machine Tools and Manufacture, 2000.
【42】 S.Y. Luo, Y.S. Liao, C.C. Chou, J.p. Chen, “Analysis of the wear of a resin-bonded diamond wheel in grinding of tungsten carbide”, Journal of Materials Processing Technology, 1997.
【43】 S.Y. Luo, Y.C. Liu, “Effect of copper filler of resin-bonded diamond composites on the wear behaviors under a dry condition”, Journal of Materials Processing Technology, 1999.
【44】 杉田忠彰,上田完次,“機械加工”,機械研究,1984。
【45】 X. Chen and W.B. Rowe, “Analysis and Simulation of the grinding process. Part1: Generation of the grinding wheel surface”, International Journal of Machine Tools and Manufacture, 1996.
【46】 X. Chen, D.R. Allanson, W.B. Rowe, “Life cycle model of the grinding process”, Computers in Industry, 1998.
【47】 W.K. Chen, H. Huang, L. Yina, “Loose abrasive truing and dressing of resin bond diamond cup wheels for grinding fibre optic connectors” , Journal of Materials Processing Technology, 2005.
【48】 CIRP Annals - Manufacturing Technology 59 ,2010.
【49】 Bifano TG, Dow TA, Scattergood V Ductile-Regime,1991.
【50】 Bifano TG, Bierden PA “Fixed-Abrasive Grinding of Brittle Hard-Disk Substrates.” International Journal of Machine Tools and Manufacture,1997.
【51】 Ngoi BKA, Sreejith PS “Ductile Regime Finish Machining “, International Journal of Manufacturing Technology ,2000.
【52】 Zhong Z, Venkatesh VC “Semi-Ductile Grinding and Polishing of Ophthalmic Aspherics and Spherics.” Annals of the CIRP,1995.
【53】 Zhong Z, “Surface Finish of Precision Machined Advanced Materials.” Journal of Materials Processing Technology,2002.
【54】 Shaw MC ,”Precision Finishing.” Annals of the CIRP,1995.
【55】 Komanduri R, Lucca DA, “Tani YTechnological Advances in Fine Abrasive Processes.” Annals of the CIRP ,1997.
【56】 Ohmori H, Ebizuka N, Morita S, Yamagata Y “Ultraprecision Micro-Grinding of Germanium Immersion Grating Element for Mid-infrared Super Dispersion Spectrograph.” Annals of the CIRP ,2001.
【57】 Ohmori H, Katahira K, Uehara Y, LinW “ELID-Grinding of Microtool and Applications to Fabrication of Microcomponents.” International Journal of Nanotechnology,2002.
【58】 J. Gurland, “New Scientific Approaches to Development of Tool Materials”, Int. Mater. Rev.,1988.
【59】 C.S. Kim, ” Microstructural-Mechanical Property Relationships in WC-Co composites”, Ph. D. Thesis,Carnegie Mellon University Pittsburgh, PA 15213, USA.
【60】 碳化鎢陶瓷材料之微結構與機械性質之研究。
【61】 科學月刊 ,”硬王-淺談碳化鎢”,1975年 。
【62】 王先逵,“精密機械加工原理”,高立圖書有限公司,2007。
【63】 C. Rubenstein, “The mechanics of grinding”, International Journal of Machine Tool Design and Research, 1972.
【64】 W. Lortz, “A Model of the Cutting Mechanism in Grinding”, Wear, 1979.
【65】 Z. Liang, X. Wang, Y. Wu, L. Xie, Z Liu, W Zhao, “An investigation on wear mechanism of resin-bonded diamond wheel in Elliptical Ultrasonic Assisted Grinding (EUAG) of monocrystal sapphire” , Journal of Materials Processing Technology, 2012.
【66】 曾健棕,“應用雙軸振動於碳化鎢磨削之研究”,國立雲林科技大學機械工程系碩士班,2007。
【67】 F.Z. Fang, L.J. Chen, “Ultra-Precision Cutting for ZKN7 Glass” , Annals of the CIRP, 2000
【68】 Bridgman PW,”The Effect of Hydrostatic Pressure on the Fracture of Brittle Substances.”, Journal of Applied Science ,1947.
【69】 Bridgman PW, Simon I,” Effects of very High Pressures on Glass.”, Journal of Applied Science,1953.
【70】 Sakka S, Mackenzie JD , “High Pressure Effects on Glass.” ,Journal of Noncrystalline Solids,1969.
【71】 Blackley WS, Scattergood RO,”Ductile-Regime Machining Model for Diamond Turning of Brittle Materials.”, Journal of the International Society for Precision Engineering and Nanotechnology ,1991.
【72】 Blake PN, Scattergood RO,”Ductile-Regime Machining of Germanium and Silicon.”, Journal of the American Ceramic Society ,1990.
【73】 Schinker MG, Doll W,”Plasticity and Fracture of Inorganic Glasses at High Speed Grinding. “,Journal de physique,1982.
【74】 Schinker MG, Doll W,” Basic Investigation into the High Speed Processing of Optical Glasses with Diamond Tools.”, Proceedings of the SPIE ,1983.
【75】 Schinker MG, Doll W,” Turning of Optical Glasses at Room Temperature.”, Proceedings of the SPIE ,1987.
【76】 Schinker MG,”Sub-Surface Damage Mechanisms at High-Speed Ductile Machining of Optical Glasses.” Journal of the International Society for Precision Engineering and Nanotechnology ,1991.
【77】 Fang FZ, Chen LJ ,” Ultra-Precision Cutting for ZKN7 Glass. “Annals of the CIRP,2000.
【78】 Fang FZ, Zhang GX,”An Experimental Study of Optical Glass Machining.” International Journal of Advanced Manufacturing Technology,2004.
【79】 Giovanola JH, Finnie I ,”On the Machining of Glass.” Journal of Materials Science,1980.
【80】 Marshall DB, Lawn BR, Cook RF,”Microstructural Effects on Grinding of Alumina and Glass-ceramics.” Communications of the American Ceramic Society,1987.
【81】 Molly P, Schinker MG, DoellW,” Brittle Fracture Mechanisms in Single Point Glass Abrasion.”, Proceedings of the SPIE,1987.
【82】 P. L. Tso “Study on the grinding of Inconel 718,Journal of Materials Processing Technology, 1995.
【83】 D. J. Stephenson, D. Veselovac, S. Manley, J.Corbett, “Ultra precision grinding of hard steels”, Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology, 2001.
【84】 Z. Zhong, N.P. Hung, “Grinding of alumina/aluminum composites” , Journal of Materials Processing Technology, 2002.
【85】 W.K. Chen, H. Huang, “Ultra precision grinding of spherical convex surfaces on combination brittle materials using resin and metal bond cup wheels”, Journal of Materials Processing Technology, 2003.
【86】 A. Abdullah, A. Pak, M. Farahi, M. Barzegari, “Profile wear of resin-bonded nickel-coated diamond wheel and roughness in creep-feed grinding of cemented tungsten carbide” , Journal of Materials Processing Technology, 2007.
【87】 H. Huang, L. Yin, L. Zhou, “High speed grinding of silicon nitride with resin bond diamond wheels”, Journal of Materials Processing Technology, 2003.
【88】 傅春能、林宗信,"繞射元件鏡面加工量測與應用",機械工業雜誌八月號, 2002。
【89】 E. Paul, C. J. Evans, Anthony Mangamelli, Michael L. McGlauflin, Robert S. Polvani, “Chemical aspect of tool wear in single point diamond turning”, Precision Engineering, 1996.
【90】 K.S. Neo, M. Rahman, X.P. Li, H.H. Khoo, M. Sawa, Y. Maeda, “Performance evaluation of pure CBN tools for machining of steel”, Journal of Materials Processing Technology,2003.
【91】 J.P.Davim,“Diamond tool performance in machining metal-matrix composites”,Journal of Materials Processing Technology,2002.
【92】 C. Evans, “Cryogenic Diamond Turning of stainless Steel”, Annals of the CIRP, 1991.
【93】 T. Moriwaki, E. Shamoto, “Ultraprecision Diamond Turning of Stainless Steel by Applying Ultrasonic Vibration”, Annals of the CIRP, 1991.
【94】 E. Shamoto, T. Moriwaki, “Ultraprecision Diamond Cutting of Hardened Steel by Applying Elliptical Vibration Cutting”, Annals of the CIRP, 1999.
【95】 F. Klocke, M. Heselhaus, J. Puellen, “Ultrasonic Assisted Diamond Turning of Hardened Steel Alloys”, Proc. of 5th euspen International Conference, 2005.
【96】 M. Zhou , X.J. Wang, B.K.A. Ngoi, J.G.K. Gan , “Brittle–ductile transition in the diamond cutting of glasses with the aid of ultrasonic vibration” ,Journal of Materials Processing Technology ,2002.
【97】 E. Brinksmeier, J. Dong, R. Gläbe, “Diamond Turning of Steel Molds for Optical Applications”, Proc. of 4th euspen International Conference, 2004.
【98】 溫長憲,”單點鑽石切削加工於經電漿滲層處理之AISI420不鏽鋼之研究”,淡江大學機械與機電工程學系碩士班,2006。
【99】 李正國,李志偉,林本源,邱錫榮,陳文嘉,溫烱亮,傅豪,蔡履文,”熱處理”,高立圖書有限公司,2003。
【100】 吳裕慶,“鋼之氮化法”,機械月刊第八卷第九期,1982。
【101】 葉通迪,“純直流及非對稱雙極脈衝直流離子氮化鈦之研究”,逢甲大學材料科學學系碩士班,2000。
【102】 A. Raveh, “Mechanisms of r.f. plasma nitriding of Ti-6Al-4V alloy”Materials Science and Engineering, 1993.
【103】 K. Marchev , C.V. Cooper , B.C. Giessen , “Observation of a compound layer with very low fricition coefficient in ion-nitrided martensitic 410 stainless steel”, Surface and Coatings technology, 1998.
【104】 M. Sahara, T. Sato, S. Ito, K. Akashi, “R.f. plasma nitriding of pure iron and stainless steel”, Materials Chemistry and physics, 1998.
【105】 I. Alphonsa, A. Chainani, P.M. Raole, B. Ganguli, P.I. John, “A study of martensitic stainless steel AISI420 modified using plasma”, Surface and Coatings technology, 2002.
【106】 M. Ruzicka, J. Vlcek, J. Musil, “Effective nitriding of steels outside low-pressure microwave discharges”, Surface and Coatings technology, 2002.
【107】 S.J. Ji, L. Wang, J.C. Sun, Z.K. Hei, “The effects of severe surface deformation on plasma nitriding of austenitic stainless steel”, Surface and Coatings technology, 2005.
【108】 Y. Sun, T. Bell, “Sliding wear characteristics of low temperature plasma nitrided 316 austenitic stainless steel”, Wear, 1998.
【109】 C. Allen, C.X. Li, T. Bell, Y. Sun, “The effect of fretting on the fatigue behavior of plasma nitrided stainless steels”, Wear, 2003.
【110】 J. Feugeas , B. Gomez , A. Craievich,“Ion nitriding of stainless steels. Real time surface characterization by synchrotron X-ray diffraction”,Surface and Coatings Technology ,2002.
【111】 鄒緯廷,”單點鑽石切削不鏽鋼之材料移除機制與表面性狀研究”,淡江大學機械與機電工程學系碩士班,2004。
【112】 F. Klocke, T. Krieg, “Coated Tools for Metal Cutting - Features and Applications”, Annals of the CIRP, 1999.
【113】 A. Pramanik, K.S. Neo, M. Rahman, X.P. Li, M. Sawa, Y. Maeda, “Cutting performance of diamond tools during ultra-precision turning of electroless-nickel plated die materials”, Journal of Materials Processing Technology, 2003.
【114】 C.L.Chao,C.J.Chang,W.C. Chou, K.J. Ma, W.H. Fan,”Effect of cobalt content on the machinability of WC-Co and the subsequent moulding process.”,EUSPEN,2014.
【115】 C.L. Chao , C.J. Chang ,C.C. Chen ,W.C. Chou , K.J. Ma,
”Precision grinding of tungsten carbide mold insert for molding of submillimeter glass aspheric lenses.”,Proceeding of SPIE,2013.
【116】 C.L. Chao,W.H. Wang,W.C. Chou,C.J. Chang,C.J. Shih, K.J.MA,W.H.Fan,”Fabrication of sub-millimetre aspheric WC mould for glass moulding process.”,2015.
【117】 C.J. Chang, C.L. Chao, W.C. Chou, K.J. Ma,”Simulation and experimental analysis of moulding process of glass diffractive optical elements.”Applied Mechanics and Materials,2012.
【118】 T. Zhou, J. Yan, Z. Liang, X. Wang, R. Kobayashi and T. Kuriyagawa, “Development of polycrystalline Ni–P mold by heat treatment for glass microgroove forming., Precision Engineering, 2015.
【119】 C.L. Chao, C.C. Chen , C.J. Chang,K.C. Huang, W.C. Chou,“Single-point diamond turning of plasma-nitrided stainless steel.”Key Engineering Materials,2008.
【120】 王琬萱,” 模造玻璃微陣列平凸透鏡之研究”,淡江大學機械與機電工程學系碩士班,2013。
【121】 陳俊傑,” 微透鏡陣列之超精密加工”,淡江大學機械與機電工程學系博士班,2010。
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