系統識別號 | U0002-0607201415174300 |
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DOI | 10.6846/TKU.2014.00171 |
論文名稱(中文) | 應用六標準差方法探討半導體測試品質 |
論文名稱(英文) | The Study of Six Sigma Approach on Semiconductor Testing Quality |
第三語言論文名稱 | |
校院名稱 | 淡江大學 |
系所名稱(中文) | 管理科學學系企業經營碩士在職專班 |
系所名稱(英文) | Executive Master's Program of Business Administration (EMBA) in Management Sciences |
外國學位學校名稱 | |
外國學位學院名稱 | |
外國學位研究所名稱 | |
學年度 | 102 |
學期 | 2 |
出版年 | 103 |
研究生(中文) | 翁榮駿 |
研究生(英文) | Rong-Chun Weng |
學號 | 701620121 |
學位類別 | 碩士 |
語言別 | 繁體中文 |
第二語言別 | |
口試日期 | 2014-06-16 |
論文頁數 | 70頁 |
口試委員 |
指導教授
-
李旭華
委員 - 陳瑞陽 委員 - 牛涵錚 |
關鍵字(中) |
六標準差 DMAIC 失效模式分析 實驗設計 |
關鍵字(英) |
Six Sigma Management DMAIC FMEA DOE |
第三語言關鍵字 | |
學科別分類 | |
中文摘要 |
台灣的半導體測試業是在1980年後蓬勃的發展,也造就了很多專業的半導體測試廠。且隨著IC製造廠投資額增大,加上廠房供給有限,促使IDM業者,在設備投資及管理成本等考量下,將測試訂單釋出,並交由專業的半導體測試廠進行測試已經成為趨勢。 由於半導體測試不同於一般製造業有存貨銷貨的壓力,測試業是以機台租用的時間收費,所以測試廠的經營績效在於機台利用率的高低,正常狀況下,扣除設備折舊與固定成本,利用率愈高利潤也愈高。因此提升設備有效的稼動率及產品的良率便可提升機台利用率,創造更多的利潤。 本研究是以六標準差的改善手法,並經由DMAIC的步驟,找出半導體測試流程中,影響設備稼動率及產品良率的原因並加以改善,以降低異常的發生,提升設備有效產出及獲利率。 |
英文摘要 |
The IC testing in Taiwan has grown dramatically after 1980, and also created a lot of professional semiconductor test facility. With IC manufacturing and investment increases, coupled with the limited supply of the plant, prompting IDM industry, in the measure of the cost of equipment investment and management considerations, will test released orders and hand over to a professional semiconductor test plant for testing, and this has become the trend. Unlike the semiconductor manufacturing with the pressure of inventory, the industry is testing machine with lease time charges, so the level of higher utilization of the machine under normal conditions can come to the optimal performance and profit after considering equipment depreciation and fixed costs. Therefore, to enhance effective equipment utilization rate and yield of products can enhance the utilization of the machine, and thus result in more profit. This study is based on Six Sigma improvement techniques, and through the DMAIC approach, the semiconductor testing processes are identified. The impact of the causes on equipment utilization rate and product yield is analyzed and the improvement actions have been taken to reduce defective products and enhance the utilization of equipment and relevant profit. |
第三語言摘要 | |
論文目次 |
目錄 III 表目錄 V 圖目錄 VI 第 1 章 緒論 1 1.1 研究背景與動機 1 1.2 研究目的 2 1.3 研究流程與論文架構 2 第 2 章 文獻探討 5 2.1 六標準差的起源 5 2.2 六標準差的定義 6 2.3 六標準差的步驟及使用工具 10 2.4 導體測試介紹 18 第 3 章 研究方法 27 3.1 Define 階段 27 3.2 Measure 階段 30 3.3 Analyze 階段 33 3.4 Improve階段 51 3.5 Control 階段 58 第 4 章 結論與建議 64 4.1 研究結果與討論 64 4.2 後續研究與建議 65 參考文獻 66 中文部分 66 英文部分 69 表目錄 頁次 表2.1 製程不偏移時所相對應的良率及PPM 6 表2.2 製程偏移1.5σ時所相對應的良率及PPM 7 表2.3 不合格數與品質水準差異比較 8 表2.4 六標準差管理推展步驟 12 表2.5 FMEA 嚴重度 14 表2.6 FMEA 發生度 15 表3.1 因果分析矩陣(Cause and Effect Matrix) 29 表3.2 ANOVA分析內容 52 表3.3 DOE 分析 53 表3.4 LS站失效模式與效應分析 61 圖目錄 頁次 圖1.1 研究流程 3 圖2.1 DOE 製程模型 17 圖2.2 半導體產業鏈 19 圖2.3 半成品 Wafer 示意圖 (google) 20 圖2.4 成品IC示意圖 (google) 20 圖2.5 晶圓測試(Wafer Test)作業流程 21 圖2.6 IC測試(Final Test)作業流程 24 圖3.1 FT製程機台異原因分類 28 圖3.2 LS製程異常原因分析 28 圖3.3 外觀異常原因分析 30 圖3.4 SIPOC模型 31 圖3.5 IC測試的作業流程 32 圖3.6 影響FT站配件問題的特性要因圖(魚骨圖) 33 圖3.7 影響LS 站彎腳的特性要因圖(魚骨圖) 33 圖3.8 細部流程圖(Process Mapping) 34 圖3.9 分析項目(1)_柏拉圖 35 圖3.10 分析項目(1)_箱型圖 35 圖3.11 分析項目(2)_柏拉圖 37 圖3.12 分析項目(2)_箱型圖 37 圖3.13 分析項目(3)_柏拉圖 39 圖3.14 分析項目(3)_箱型圖 39 圖3.15 分析項目(4)_柏拉圖 41 圖3.16 分析項目(4)_箱型圖 41 圖3.17 分析項目(5)_柏拉圖 43 圖3.18 分析項目(5)_箱型圖 43 圖3.19 分析項目(6)_柏拉圖 45 圖3.20 分析項目(6)_箱型圖 45 圖3.21 分析項目(7)_柏拉圖 47 圖3.22 分析項目(7)_箱型圖 47 圖3.23 分析項目(8)_柏拉圖 49 圖3.24 分析項目(8)_箱型圖 49 圖3.25 DOE 分析(Main Effects Plot for Yield) 54 圖3.26 DOE 分析(Main Effects Plot for Yield) 55 圖3.27 作業系統流程圖 56 圖3.28 異常處理作業標準流程圖 57 圖3.29 配件自動清針改善流程圖 58 圖3.30 FT站改善前後機台Down Rate比較 59 圖3.31 LS站重工作業工序 62 圖3.32 改善前後不良率與異常開單件數比較 63 |
參考文獻 |
中文部分 鄭榮郎、郭倉義,2001。6σ整合經營策略模式架構初探,中華民國品質學會第37屆年會,715-725 頁。 鄭榮郎,2002。6 σ 系統整合經營策略模式之研究,國立中山大學,企業管理學系研究所博士論文。 鍾朝嵩,2002。6 Sigma實踐法,先鋒企管出版社。 林偉,2002。二十一世紀之Business Management-六個標準差(Six Sigma,6s),品質月刊第三十八卷第三期。 陳順宇,2002。實驗設計,華泰書局。 陳憲章, 2003。六標準差觀念,中華六標準差應用協會。 吳嘉晟,2003。製造業六標準差應用手冊初版,新文京開發出版有限公司。 陳萬成,2004。IC 測試由大量生產到專業測試服務的轉型,國立清華大學,高階主管經營管理碩士在職專班碩士論文。 簡毓璇,2006,六標準差與內部績效控制-G 公司金融業個案為例,淡江大學,國際商學碩士在職專班碩士論文。 李承勳,2007。六標準差DMAIC流程改善模式之軟體發展,國立清華大學,工業工程與管理系碩士班碩士論文。 王相弼,2008。DBR 模式在記憶體晶圓針測廠之應用,國立交通大學,工業工程與管理學系碩士論文。 蘇朝墩, 2009。六標準差,前程文化出版社。 李旭華,2009。品質管理,滄海書局。 林志良,2009。晶圓切割製程的穩健設計-六標準差與田口實驗設計的應用,國立高雄應用科技大學,工業工程與管理系碩士班碩士論文。 林俊蓮,2009。利用六標準差手法提升封裝廠之晶片切割良率,國立清華大學,工業工程與工程管理學系碩士論文。 馮勳烈,2010。六標準差應用於傳統樹脂製造業之品質改善研究, 國立成功大學, 工學院工程管理專班碩士論文。 柯惠庭,2010。應用約略集分析半導體測試廠測試異常問題,國立勤益科技大學,工業工程與管理系碩士班碩士論文。 洪莉雯,2010。六標準差手法應用於網版業製程品質改善之研究,大葉大學,工業工程與科技管理學系碩士班碩士論文。 馮勳烈,2010。應用六標準差於傳統樹脂製造業品質改善,國立成功大學,工程管理碩士在職專班碩士論文。 張景翔,2011。運用六標準差方法改善焊線式電源連接器斷電問題, 國立清華大學, 工業工程與工程管理學系研究所碩士論文。 康博文,2012。M2銅釘熱熔製程參數最佳化研究,淡江大學,企業經營碩士在職專班碩士論文。 馬崧獻,2013。應用六標準差改善Y公司疊層站良率,國立高雄應用科技大學,工業工程與管理系碩士班碩士論文。 英文部分 McFadden, F.R., 1993. Six-Sigma Quality Programs, Quality Progress, pp. 37-42. Simth, G., 1993, Benchmarking Success at Motorola, Copyright Society of Management Accountants of Canada. Gupta, M., and Campbel, V. S., 1995, The Cost of Quality, Production and Inventory Management Journal, Vol.36, pp. 43-49. Lee, Hsu-Hua,Chandra, M.J.,and Deleveaux , V.J., 1997, Optimal Batch Size and Investment in Multistage Production System with Scrap, Production Planning & Control, Vo 1.8 , pp. 586-596. Harry, M.J., 1998, Six sigma: A breakthrough strategy for Profitability, Quality Progress , pp. 60-64 . Wyper, B. and A. Harrison, 2000, Deployment of Six Sigma methodology in human resource function : a case study, Total Quality Management, pp.720-727. Pande, P., R. Neuman; R. Cavanagh, 2000, The Six Sigma Way: How GE, Motorola, and Other Top Companies Are Honing Their Performance, McGraw- Hill, New York, NY. Munro, R.A., 2000, Linking Six Sigma with QS-9000, Quality Progress, pp. 47-53. DeFeo, J.A., 2000, Six Sigma: New Opportunities for HR, New Career Growth for Employees, Employment Relations Today, pp. 1-6. Breyfogle, F., J. Cupello and B. Meadows, 2001, Managing Six Sigma: A Practical Guide to Understanding, Assessing, and Implementing the Strategy That Yields Bottom-Line Success, John Wiley & Sons. Inc, New York, NY. Forrest W. Breyfogle III,2003,Implementing Six Sigma – Smarter Solution Using Statistical Methods。 Kwak, Y.H. and F.T., 2006, Anbari, Benefits, obstacles, and future of Six Sigma approach, Technovation, Vol.26, pp.708-715. |
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