本論文研究三種金屬薄殼(金、銀、銅)的聚二甲基矽氧烷微米圓盤，在三種雷射光(671nm、532nm、405nm)照射下產生的光子奈米噴流現象。研究方法分為理論計算和實驗量測兩個部份，在理論計算方面，本論文使用時域有限差分法來模擬不同金屬核殼微米圓盤在不同直徑和不同入射光波照射下，光子奈米噴流的光場分佈和光強度的變化。在核殼微米圓盤製程方面，本論文使用半導體製程和翻模技術先做出核心微米圓盤，再利用真空濺鍍系統將圓盤鍍上金屬薄殼而形成薄殼微米圓盤。在實驗量測方面，本論文自行架設出高靈敏度光學顯微鏡系統來觀察核殼微米圓盤的光子奈米噴流現象，並撰寫電腦程式分析光子奈米噴流現象的各種參數，包括噴流焦距、半高全寬、衰減長度等。經由模擬與實驗結果的互相比較，本論文發現不同的金屬薄殼材料能夠改變微米圓盤產生的光子奈米噴流特性，例如使聚焦效果變好、增加焦距、或增加聚焦強度，未來可應用於高解析度光學顯微鏡中以觀察各種奈米級的目標物。

The photonic nanojets generated by a laser source in three metal shells (gold, silver, and copper) each enclosing a polydimethylsiloxane microdisk are studied. Lasers of wavelengths 671 nm, 532 nm, and 405 nm are used as a light source for each microdisk. This study is divided into two parts—theoretical calculation, and experimentation. In theoretical calculations, the finite-difference time-domain method is used to simulate the intensity distribution of photonic nanojets at different metal shell, diameters, and incident wavelengths. The core microdisks are created using semiconductor manufacturing technologies. A sputtering system is used to plate metal shells on the dielectric core. The measurement of photonic nanojets in the core-shell microdisks is performed in experiment with a high sensitivity optical microscope system. A computer program is written to analyze the parameters of photonic nanojets, including radial shift, full width at half maximum, and decay length. The simulation results are compared with experimental data. The study found the photonic nanojet characteristics can be changed by different metal shell materials. In the future, this technique can be applied to high-resolution optical microscopes for observing nanoscale objects.

目錄
誌謝	Ⅰ
中文摘要	Ⅱ
英文摘要	Ⅲ
目錄	IV
圖目錄	VII
表目錄	XVI
第1章 前言	1
1.1 研究緣起	1
1.2 文獻回顧	4
1.3 研究目的與架構	9
第2章 理論分析	11
2.1 米氏散射理論	11
2.2 奈米光子噴流特徵	12
2.3 數值方法	13
2.4 金屬表面電漿共振	18
第3章 光子奈米噴流數值模擬	19
3.1 模型建立	19
3.2 微米圓盤薄殼材料的改變對光子奈米噴流影響	21
3.2.1 單層核殼微米圓盤能量分佈圖	21
3.2.2 雙層核殼微米圓盤能量分佈圖	24
3.2.3 不同薄殼材料與光子奈米噴流焦距關係	26
3.2.4 不同薄殼材料與光子奈米噴流半高全寛關係	30
3.2.5 不同薄殼材料與光子奈米噴流衰減長度關係	35
3.2.6 不同薄殼材料與光子奈米噴流強度關係	39
第4章 實驗製程	50
4.1 實驗目的	50
4.2 半導體製程	51
4.2.1 光罩設計	51
4.2.2 晶圓製程步驟	53
4.2.3 微米圓盤成品	55
4.2.4 真空濺鍍	57
第5章 奈米光子噴流量測系統介紹	61
5.1 系統架構	61
5.2 光學顯微鏡	62
5.3 電荷耦合元件	64
5.4 物鏡	66
5.5 光源	67
5.6 三軸電控平台	69
第6章 奈米噴流量測結果	70
6.1 無殼PDMS微盤	70
6.2 單層金薄殼PDMS微盤	77
6.3 單層銀薄殼PDMS微盤	84
6.4 單層銅薄殼PDMS微盤	91
6.5 雙層銅銀殼PDMS微盤	98
6.6 雙層金銀殼PDMS微盤	105
6.7 光子奈米噴流之參數分析	112
6.7.1 單位正規化	112
6.7.2 無殼PDMS微盤之參數分析	113
6.7.3 單層金薄殼PDMS微盤之參數分析	115
6.7.4 單層銀薄殼PDMS微盤之參數分析	117
6.7.5 單層銅薄殼PDMS微盤之參數分析	119
6.7.6 雙層銅銀殼PDMS微盤之參數分析	121
6.7.7 雙層金銀殼PDMS微盤之參數分析	123
第7章 結論	125
參考文獻	127

圖目錄
圖 1 1 文獻使用之量測架構[23]	5
圖 1 2 3μm乳膠微球的光子奈米噴流現象[23]	5
圖 1 5微盤結構及厚度[28]	6
圖 1 6 (a)文獻實驗所使用之設備 (b)微盤直徑為6.5μm經綠光照射後所產生的聚焦情形[28]	6
圖 1 3 多層核殼圓模型[27]	6
圖 1 4 相鄰層折射率改變對光子奈米噴流的影響[27]	6
圖 1 7 三種不同入射光照射在2μm玻璃微球的噴流情形[33]	7
圖 1 8 文獻實驗模擬圖:(a)矽球(b)矽金雙層球(c)金球[35]	8
圖 1 9 本論文架構圖	10
圖 2 1 光子奈米噴流結構示意圖	12
圖 2 2 FDTD單位網格電磁場配置	15
圖 2 3 電場和磁場隨時間變化交替圖	15
圖 3 1多層核殼微米圓盤的數值模型	19
圖 3 2 d=5μm的單層核殼微盤能量分佈圖	21
圖 3 3 d=8μm的單層核殼微盤能量分佈圖	22
圖 3 4 d=8μm的單層核殼微盤能量分佈圖:(a)單層金薄殼 (b)單層銅薄殼	22
圖 3 5 d=10μm的單層核殼微盤能量分佈圖	23
圖 3 6 d=15μm的單層核殼微盤能量分佈圖	23
圖 3 7 d=5μm的雙層核殼微盤能量分佈圖	24
圖 3 8 d=8μm的雙層核殼微盤能量分佈圖	24
圖 3 9 d=10μm的雙層核殼微盤能量分佈圖	25
圖 3 10 d=15μm的雙層核殼微盤能量分佈圖	25
圖 3 11 d=5μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	26
圖 3 12 d=8μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	27
圖 3 13 d=10μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	27
圖 3 14 d=15μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	28
圖 3 15 d=5μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	28
圖 3 16 d=8μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	29
圖 3 17 d=10μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	29
圖 3 18 d=15μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流焦距的關係	30
圖 3 19 d=5μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	31
圖 3 20 d=8μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	31
圖 3 21 d=10μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	32
圖 3 22 d=15μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	32
圖 3 23 d=5μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	33
圖 3 24 d=8μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	33
圖 3 25 d=10μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	34
圖 3 26 d=15μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流半高全寬的關係	34
圖 3 27 d=5μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流衰減長度的關係	35
圖 3 28 d=8μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流衰減長度的關係	36
圖 3 29 d=10μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流衰減長度的關係	36
圖 3 30 d=15μm單層核殼微米圓盤對光子奈米噴流衰減長度的關係	37
圖 3 31 d=5μm雙層核殼微米圓盤對光子奈米噴流衰減長度的關係	37
圖 3 32 d=8μm雙層核殼微米圓對光子奈米噴流衰減長度的關係	38
圖 3 33 d=10μm雙層核殼微米圓對光子奈米噴流衰減長度的關係	38
圖 3 34 d=15μm雙層核殼微米圓對光子奈米噴流衰減長度的關係	39
圖 3 35-1 d=5μm 671nm紅光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	40
圖 3 36 d=5μm 532nm綠光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	41
圖 3 37 d=5μm 405nm藍光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	41
圖 3 38 d=8μm 671nm紅光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	42
圖 3 39 d=8μm 532nm綠光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	43
圖 3 40 d=8μm 405nm藍光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	43
圖 3 41 d=10μm 671nm紅光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	45
圖 3 42 d=10μm 532nm綠光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	45
圖 3 43 d=10μm 405nm藍光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	46
圖 3 44 d=15μm 671nm紅光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	47
圖 3 45 d=15μm 532nm綠光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	48
圖 3 46 d=15μm 405nm藍光雷射對不同薄殼材料的光子奈米噴流聚焦強度關係	49
圖 4 1 實驗示意圖	50
圖 4 2 光罩:(a)光罩設計圖 (b)光罩成品	52
圖 4 3 製程步驟示意圖	53
圖 4 4 光阻塗佈旋轉速度與時間關係圖	54
圖 4 5 共軛焦顯微鏡	55
圖 4 6 PDMS微盤直徑:(a)5μm (b)8μm (c)10μm (d)15μm	55
圖 4 7 真空濺鍍機	57
圖 4 8 聚焦離子束與電子束顯微系統	58
圖 4 9 單層銀薄殼PDMS微盤剖面圖:(a)全剖面圖 (b)局部剖面圖	59
圖 4 10 雙層銅銀殼PDMS微盤剖面圖:(a)全剖面圖 (b)局部剖面圖	60
圖 5 1 實驗整體系統圖	61
圖 5 2光學顯微鏡示意圖	62
圖 5 3 XYZ三軸電控平台	69
圖 6 1 671nm紅光雷射於不同直徑PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	70
圖 6 2 532nm綠光雷射於不同直徑PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	70
圖 6 3 405nm藍光雷射於不同直徑PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	70
圖 6 4 671nm紅光雷射於不同直徑之無殼PDMS微盤的光子奈米噴流現象變化(亮場)	71
圖 6 5 671nm紅光雷射於不同直徑之無殼PDMS微盤的光子奈米噴流現象變化(暗場)	72
圖 6 6 532nm綠光雷射於不同直徑之無殼PDMS微盤的光子奈米噴流現象變化(亮場)	73
圖 6 7 532nm綠光雷射於不同直徑之無殼PDMS微盤的光子奈米噴流現象變化(暗場)	74
圖 6 8 405nm藍光雷射於不同直徑之無殼PDMS微盤的光子奈米噴流現象變化(亮場)	75
圖 6 9 405nm藍光雷射於不同直徑之無殼PDMS微盤的光子奈米噴流現象變化(暗場)	76
圖 6 10 671nm紅光雷射於不同直徑單層金薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	77
圖 6 11 532nm綠光雷射於不同直徑單層金薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	77
圖 6 12 405nm藍光雷射於不同直徑單層金薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	77
圖 6 13 671nm紅光雷射於不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	78
圖 6 14 671nm紅光雷射於不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	79
圖 6 15 532nm綠光雷射於不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	80
圖 6 16  532nm綠光雷射於不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	81
圖 6 17  405nm藍光雷射於不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	82
圖 6 18 405nm藍光雷射於不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	83
圖 6 19 671nm紅光雷射於不同直徑單層銀薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	84
圖 6 20 532nm綠光雷射於不同直徑單層銀薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	84
圖 6 21 405nm藍光雷射於不同直徑單層銀薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	84
圖 6 22 671nm紅光雷射於不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	85
圖 6 23 671nm紅光雷射於不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	86
圖 6 24 532nm綠光雷射於不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	87
圖 6 25 532nm綠光雷射於不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	88
圖 6 26 405nm紅光雷射於不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	89
圖 6 27 405nm藍光雷射於不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	90
圖 6 28 671nm紅光雷射於不同直徑單層銅薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	91
圖 6 29 532nm綠光雷射於不同直徑單層銅薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	91
圖 6 30 405nm藍光雷射於不同直徑單層銅薄殼PDMS微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	91
圖 6 31 671nm紅光雷射於不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	92
圖 6 32 671nm紅光雷射於不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	93
圖 6 33 532nm綠光雷射於不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	94
圖 6 34 532nm紅光雷射於不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	95
圖 6 35 405nm藍光雷射於不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	96
圖 6 36 405nm藍光雷射於不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	97
圖 6 37 671nm紅光雷射於不同直徑的雙層銅銀殼微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	98
圖 6 38 532nm綠光雷射於不同直徑的雙層銅銀殼微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	98
圖 6 39 405nm藍光雷射於不同直徑的雙層銅銀殼微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	98
圖 6 40 671nm紅光雷射於不同直徑的雙層銅銀殼微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	99
圖 6 41 671nm紅光雷射於不同直徑的的雙層銅銀殼微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	100
圖 6 42 532nm綠光雷射於不同直徑的的雙層銅銀殼微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	101
圖 6 43 532nm綠光雷射於不同直徑的的雙層銅銀殼微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	102
圖 6 44 405nm藍光雷射於不同直徑的的雙層銅銀殼微盤之光子奈米噴流現象變化(亮場)	103
圖 6 45 405nm藍光雷射於不同直徑的的雙層銅銀殼微盤之光子奈米噴流現象變化(暗場)	104
圖 6 46 671nm紅光雷射於不同直徑的雙層金銀殼微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	105
圖 6 47 532nm綠光雷射於不同直徑的雙層金銀殼微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	105
圖 6 48 405nm藍光雷射於不同直徑的雙層金銀殼微盤產生效果最好的光子奈米噴流聚焦圖	105
圖 6 49 671nm紅光雷射於不同直徑的雙層金銀殼之光子奈米噴流現象變化(亮場)	106
圖 6 50 671nm紅光雷射於不同直徑的雙層金銀殼之光子奈米噴流現象變化(暗場)	107
圖 6 51 532nm綠光雷射於不同直徑的雙層金銀殼之光子奈米噴流現象變化(亮場)	108
圖 6 52 532nm綠光雷射於不同直徑的雙層金銀殼之光子奈米噴流現象變化(暗場)	109
圖 6 53 405nm藍光雷射於不同直徑的雙層金銀殼之光子奈米噴流現象變化(亮場)	110
圖 6 54 405nm藍光雷射於不同直徑的雙層金銀殼之光子奈米噴流現象變化(暗場)	111
圖 6 55 0.01mm標準片	112
圖 6 56 電腦程式分析0.01nm標準片數據	112
圖 6 57不同直徑的無殼PDMS微盤之噴流焦距與入射光波長關係圖	113
圖 6 58不同直徑的無殼PDMS微盤之噴流半高全寬與入射光波長關係圖	114
圖 6 59不同直徑的無殼PDMS微盤之噴流衰減長度與入射光波長關係圖	114
圖 6 60不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之噴流焦距與入射光波長關係圖	115
圖 6 61不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之噴流半高全寬與入射光波長關係圖	116
圖 6 62不同直徑的單層金薄殼PDMS微盤之噴流衰減長度與入射光波長關係圖	116
圖 6 63不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之噴流焦距與入射光波長關係圖	117
圖 6 64 不同直徑的單層銀薄殼PDMS微盤之噴流半高全寬與入射光波長關係圖	118
圖 6 65 不同直徑之單層銀薄殼PDMS微盤之噴流衰減長度與入射光波長關係圖	118
圖 6 66不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之噴流焦距與入射光波長關係圖	119
圖 6 67不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之噴流半高全寬與入射光波長關係圖	120
圖 6 68不同直徑的單層銅薄殼PDMS微盤之噴流衰減長度與入射光波長關係圖	120
圖 6 69 不同直徑的雙層銅銀殼PDMS微盤之噴流焦距與入射光波長關係圖	121
圖 6 70不同直徑的雙層銅銀殼PDMS微盤之噴流半高全寬與入射光波長關係圖	122
圖 6 71不同直徑的雙層銅銀殼PDMS微盤之噴流衰減長度與入射光波長關係圖	122
圖 6 72不同直徑的雙層金銀殼微盤之噴流焦距與入射光波長關係圖	123
圖 6 73不同直徑的雙層金銀殼微盤之噴流半高全寬與入射光波長關係圖	124
圖 6 74不同直徑的雙層金銀殼微盤之噴流衰減長度與入射光波長關係圖	124

表目錄
表 3 1 數值模擬模型參數表	20
表 4 1 PDMS微盤製程參數	56
表 4 2 濺鍍參數	57
表 4 3 鍍金參數	58
表 5 1光學顯微鏡各部份的名稱	63
表 5 2 CCD攝影機之規格比較	65
表 5 3 物鏡規格比較表	66
表 5 4 紅光雷射規格	67
表 5 5 綠光雷射規格	68
表 5 6 藍光雷射規格	68

[1] 馬遠榮, “奈米科技”, 商周出版, 台灣, 2002
[2] J.-P. Berenger, “A perfectly matched layer for the absorption of electromagnetic waves”, Journal of computational physics, vol. 114, no. 2, pp. 185-200, 1994
[3] 龔建華, “你不可不知的奈米科技”, 世茂出版社, 台灣, 2002
[4] 白春禮, “納米科技現在與未來”, 凡異出版社, 台灣, 2002
[5] 尹邦躍、張勁燕, “奈米時代”, 五南圖書出版公司, 台灣, 2002
[6] Kawai Tomoji, “奈米科技”, 工業技術研究院, 台灣, 2002
[7] 黃楓台, “奈米與微機電”, 國家科學委員會科學技術資料中心, 台灣, 2002
[8] 張喜寧、夏鎮洋, “穿透式及掃描式電子顯微鏡生物技術”, 國立編譯館, 台灣, 1979
[9] 管傑雄、孫啟光, “奈米光電”, 經濟部工業局, 台灣, 2002
[10] P. Grabiec, T. Gotszalk, and J. Radojewski, “SNOM/AFM microprobe integrated with piezoresistive cantilever beam for multifunctional surface analysis”, Microelectronic engineering, vol. 61, pp. 981-986, 2002
[11] J. A. O'keefe, “Resolving power of visible light”, Journal of the Optical Society of America, vol. 46, no. 5, pp. 359, 1956
[12] D. Pohi, W. Denk, and M. Lanz, “Optical Stethoscopy: Image Recording with resolution A/20”, Applied Physics Letters, vol. 44, no. 7, pp. 651-653, 1984
[13] A. Lewis, M. Isaacson, and A. Harootunian, “Development of a 500 Å spatial resolution light microscope: I. light is efficiently transmitted through λ/16 diameter apertures”, Ultramicroscopy, vol. 13, no. 3, pp. 227-231, 1984
[14] E. Betzig, A. Harootunian, and A. Lewis , “Near-field diffraction by a slit: implications for superresolution microscopy”, Applied optics, vol. 25, no. 12, pp. 1890-1900, 1986
[15] E. Betzig and J. K. Trautman, “Near-field optics: microscopy, spectroscopy, and surface modification beyond the diffraction limit”, Science, vol. 257, no. 5067, pp. 189-195, 1992
[16] R. C. Dunn, “Near-field scanning optical microscopy”, Chemical reviews, vol. 99, no. 10, pp. 2891-2928, 1999
[17] X. Li, Z. Chen, and A. Taflove , “Optical analysis of nanoparticles via enhanced backscattering facilitated by 3-D photonic nanojets”, Optics express, vol.13, no. 2, pp. 526-533, 2005
[18] G. Mie, “Beiträge zur Optik trüber Medien, speziell kolloidaler Metallösungen”, Annalen der physik, vol. 330, no. 3, pp. 377-445, 1908.
[19] H. C. Hulst and H. C. van de Hulst, “Light scattering: by small particles”, Courier Corporation, 1957
[20] Z. Chen, A. Taflove, and V. Backman, “Photonic nanojet enhancement of backscattering of light by nanoparticles: a potential novel visible-light ultramicroscopy technique”, Optics express, vol. 12, no. 7, pp. 1214-1220, 2004
[21] A. Itagi and W. Challener, “Optics of photonic nanojets”, Journal of the Optical Society of America A, vol. 22, no. 12, pp. 2847-2858, 2005
[22] A. Heifetz, K. Huang, and A. V. Sahakian, “Experimental confirmation of backscattering enhancement induced by a photonic jet”, Applied physics letters, vol. 89, no. 22, 2006
[23] P. Ferrand, J. Wenger, and A. Devilez, “Direct imaging of photonic nanojets”, Optics express, vol. 16, no. 10, pp. 6930-6940, 2008

[24] J. F. Cardenas, “Confinement of light near the diffractionlimit at the SiO2/Si interface by silicaspheres”, Journal of the Optics, vol. 12, no. 3, 2010
[25] R. Aroca, “Surface-Enhanced Vibrational Spectroscopy”, John Wiley & Sons, American, 2006
[26] Y. E. Geints, E. K. Panina, and A. A. Zemlyanov, “Control over parameters of photonic nanojets of dielectric microspheres” Optics Communications, vol. 283, no. 23, pp. 4775-4781, 2010
[27] C. M. Ruiz and J. J. Simpson, “Detection of embedded ultra-subwavelength-thin dielectric features using elongated photonic nanojets”, Optics express, vol. 18, no. 16, pp. 16805-16812,2010
[28] D. McCloskey, J. J. Wang, and J.F. Donegan, “Low divergence photonic nanojets from Si3N4 microdisks”, Optics express, vol. 20, no. 1, pp. 129-140, 2012
[29] C. F. Bohren and D. R. Huffman, “Absorption and Scattering of Light by Small Particles”, John Wiley & Sons, American, 1998
[30] V. R. Dantham, P. B. Bisht, and C. K. R. Namboodiri, “Enhancement of Raman scattering by two orders of magnitude using photonic nanojet of a microsphere”, Journal of Applied Physics, vol. 109, no. 10, 2011
[31] J. B. Pawley, “Handbook of Biological Confocal Microscopy”, Optical Engineering, vol. 35, no. 9, pp. 2765-2766, 2006
[32] W. T. Silfvast, “Laser Fundamentals”, Springer Verlag, American, 1999
[33] M.-S. Kim and T. Scharf, S. Mühlig, “Engineering photonic nanojets”, Optics express, vol. 19, no. 11, pp. 10206-10220, 2011
[34] Y. E. Geints and A. A. Zemlyanov, and E. K. Panina. “Photonic nanojets calculations in layered radially inhomogeneous micrometer-sized spherical particles”, Journal of the Optical Society of America B, vol. 28, no. 8, pp. 1825-1830, 2011
[35] D. Grojo, N. Sandeau, L. Boarino, C. Constantinescu, N. De Leo, M. Laus, and K. Sparnacci “Bessel-like photonic nanojets from core-shell sub-wavelength spheres”, Optics letters, vol. 39, no. 13, pp. 3989-3992, 2014
[36] A. Tavlove and S. C. Hagness, “Computational electrodynamics: the finite-difference time-domain method”, Artech House, American, 1995
[37] 葉玉堂、肖峻、饒建珍, “光學教程(第二版)”, 清華大學出版社, 2011
[38] K. Yee, “Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell's equations in isotropic media”, IEEE Transactions, Antennas and Propagation, vol. 14, no. 3, pp. 302-307, 1966
[39] J. Berenger, “A perfectly matched layer for the absorption of electromagnetic waves”, Journal of computational physics, vol. 114, no. 2, pp. 185-200, 1994
[40] 林振華, “電磁場與天線分析:使用時域有限差分法(FDTD)”, 全華科技圖書股份有限公司, 台灣, 1999
[41] 孫振, “二維光子晶體耦合共振光能量分配器之設計與分析”, 淡江大學機械與機電工程學系碩士班學位論文(pp. 1-64), 2012
[42] 王永勛, “單顆介電微米圓球之光子奈米噴流的數值分析與實驗”, 淡江大學機械與機電工程學系碩士班學位論文(pp. 1-71), 2013
[43] 陳建榕, “光子奈米噴流現象於單顆微米介電圓盤之研究”, 淡江大學機械與機電工程學系碩士班學位論文(pp. 1-115), 2014
[44] R. W. Wood, “On a remarkable case of uneven distribution of light in a diffraction grating spectrum”, Philosophical Magazine, vol. 4, no. 21, pp. 396-402, 1902
[45] U. Fano, “The theory of anomalous diffraction gratings and of quasi-stationary waves on metallic surfaces (Sommerfeld's waves)”, Journal of the Optical Society of America, vol. 31, pp. 213-222, 1941
[46] 邱國斌、蔡定平, “金屬表面電漿簡介”, 物理雙月刊, pp. 472-485, 2006
[47] 章效鋒, “清晰的奈米世界”, 五南圖書, 2006